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    • 9. 发明专利
    • 静電式セルフパワー変位グリッドセンサ
    • JP2021516345A
    • 2021-07-01
    • JP2020551342
    • 2019-07-25
    • 浙江大学ZHEJIANG UNIVERSITY
    • ▲張▼ ▲鶴▼汪 ▲華▼▲鋼▼▲張▼ 治成全 力威
    • G01B7/00
    • 【課題】本発明は、被測定部材の変位を測定するための静電式セルフパワー変位グリッドセンサを提供する。 【解決手段】その構造はスライド溝及びスライドシートを含み、前記スライド溝が固定端に固定され、スライド溝の内側底部にセンシングアレイが配置され、前記スライドシートが被測定部材に固定して接続され、スライドシートの下端部がスライド溝の内側底部に接触する。スライドシートがセンシングアレイを通過すると、1つの対応する電気信号を出力し、該信号で示されるセンシングアレイ中のセンシングユニットの番号及び出力電流の大きさによって、スライドシートが通過するセクション数及び単一のセンシングアレイ上のセンシングユニットを通過する距離を取得し、さらに構造の変位を算出する。ほかの変位測定装置に比べて、セクション式変位計は、構成が簡単で、適用範囲が広く、測定精度が高く、電源を別途供給する必要がない等の利点を有し、電気信号による変位較正の結果が不安定である課題を独創的に解決する。 【選択図】図1