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1. 发明申请

WO2022141172A1 气体传感器的制备方法及气体传感器审中-公开
公开(公告)号：WO2022141172A1
公开(公告)日：2022-07-07
申请号：PCT/CN2020/141322
申请日：2020-12-30
申请人：光华临港工程应用技术研发（上海）有限公司
发明人：卢红亮 , 陈丁波
IPC分类号： H01L29/205 , H01L29/45 , H01L29/47 , H01L29/872 , H01L21/329 , G01N27/12
摘要：一种气体传感器的制备方法和气体传感器，该方法包括：提供一表面具有GaN缓冲层（202）的Si衬底（201）；在GaN缓冲层（202）上形成外延叠层（21），外延叠层（21）从下向上依次为GaN沟道层（203）、AlN插入层（204）、AlGaN势垒层（205）以及GaN帽层（206）；刻蚀外延叠层（21），形成台阶状异质结构（22），同时实现器件隔离；形成欧姆接触电极（207）和肖特基接触电极（208），欧姆接触电极（207）位于GaN帽层（206）上，肖特基接触电极（208）位于刻蚀区域底部的GaN缓冲层（202）上；退火；形成敏感材料层（209），敏感材料层（209）连接异质结构（22）和肖特基接触电极（208）。该气体传感器降低了开启电压和功率损耗，同时缩短了敏感材料层与二维电子气之间的距离，载流子的传输不再隧穿通过AlGaN势垒层，保持高的迁移率，器件具有更高的灵敏度。

2. 发明申请

WO2022141171A1 气体传感器的制备方法及气体传感器审中-公开
公开(公告)号：WO2022141171A1
公开(公告)日：2022-07-07
申请号：PCT/CN2020/141321
申请日：2020-12-30
申请人：光华临港工程应用技术研发（上海）有限公司
发明人：卢红亮 , 陈丁波 , 李煜淳
IPC分类号： H01L29/06 , H01L29/267 , G01N27/12
摘要：一种气体传感器的制备方法及气体传感器，该方法包括以下步骤：提供一晶圆(201)，晶圆(201)具有硅衬底（21）和表面的缓冲层（22）；在缓冲层（22）表面生长一N型半导体层（23）；刻蚀N型半导体（23）、缓冲层（22）、以及部分硅衬底（21），形成沟槽；在N型半导体层（23）表面的两侧形成（24）；在N型半导体层（23）、缓冲层（22）、以及硅衬底（21）表面形成一导电层（25）；去除多余的导电层（25），形成覆盖沟槽处晶圆（202）的导电层（26）；在导电层（26）处生长纳米线，在沟槽中形成悬空纳米线（27）。该气体传感器具有较低接触电阻和工作电压，且无需退火处理的，基于原位桥接生长ZnO纳米线，有利于实现大规模制备高性能片上气体传感器。

3. 发明申请

WO2008116417A1 气体传感器审中-公开
公开(公告)号：WO2008116417A1
公开(公告)日：2008-10-02
申请号：PCT/CN2008/070573
申请日：2008-03-25
申请人：华瑞科学仪器(上海)有限公司 , 刘玲 , 谢雷
发明人：刘玲 , 谢雷
IPC分类号： G01N27/407 , G01N27/416
CPC分类号： G01N27/404
摘要： An oxygen sensor comprises an electrolyte isolation layer (110) with at least one through-hole, a measuring electrode (112) and a counter electrode (114). Said measuring electrode is mounted on one side of said electrolyte isolation layer and said counter electrode (114) is mounted on the other side of said electrolyte isolation layer (110). The size of at least one through-hole meets: A liquid phase /l lisolation

4. 发明申请

WO2021129840A1 一种超声波气体传感器审中-公开
公开(公告)号：WO2021129840A1
公开(公告)日：2021-07-01
申请号：PCT/CN2020/139645
申请日：2020-12-25
申请人：四方光电股份有限公司
发明人：熊友辉 , 吴俊 , 李重洋 , 范春龙
IPC分类号： G01N29/02 , G01N2291/0215
摘要：一种超声波气体传感器，包括壳体(1)和分别设置于壳体(1)内腔顶端的第一超声波换能器和第二超声波换能器，第一超声波换能器和第二超声波换能器于壳体(1)内形成V型超声波传输路径(2)，壳体(1)内设有进气通道(6)和出气通道(7)，进气通道(6)的上端(6a)靠近第一超声波换能器，出气通道(7)的上端(7a)靠近第二超声波换能器，以使进入旁流管道的被测气流均能通过第一和第二超声波换能器的探测区域，进气通道(6)和出气通道(7)的下端(6b,7b)均与气体传感器安装座(10)相连通。该传感器无需额外的连接管道，能够直接替代传统的电化学气体传感器，并且具有寿命长、响应速度快、成本低、不需要人为校准，结构小巧，便于安装的优点。

5. 发明申请

WO2018223674A1 自预警气体传感器审中-公开
公开(公告)号：WO2018223674A1
公开(公告)日：2018-12-13
申请号：PCT/CN2017/119439
申请日：2017-12-28
申请人：纳智源科技(唐山)有限责任公司
发明人：徐传毅 , 钟强 , 赵豪
IPC分类号： G01F3/22 , G01N27/00 , A61B5/091
CPC分类号： G01N27/00
摘要：本发明公开了一种自预警气体传感器，包括：端盖（110）、壳体（120）和多个气体感测元件（130）；其中，端盖（110）设置于壳体（120）的顶部，端盖（110）上开设有出气口（111）；壳体（120）包括侧壁和底面，壳体的底面上开设有进气口（121），壳体具有中空结构以形成气流通道，气流通道与进气口（121）和出气口（111）连通，以使气流通过进气口（121）进入气流通道并通过出气口（111）流出；多个气体感测元件（130）设置于壳体内；当气流通过进气口（121）进入气流通道时，气体感测元件因气流作用产生对应的电信号。利用本发明提供的技术方案，根据多个气体感测元件所产生的电信号能够方便地获知气体感测元件是否处于异常状态。

6. 发明申请

WO2010025601A1 自标定气体传感器审中-公开
公开(公告)号：WO2010025601A1
公开(公告)日：2010-03-11
申请号：PCT/CN2008/073387
申请日：2008-12-09
申请人：无锡尚沃生物科技有限公司 , 韩杰 , 沈立军
发明人：韩杰 , 沈立军
IPC分类号： G01N27/26
CPC分类号： G01N33/0006

7. 发明申请

WO2021212931A1 一种二维多点反射长光程气体传感器探头及气体传感器审中-公开
公开(公告)号：WO2021212931A1
公开(公告)日：2021-10-28
申请号：PCT/CN2021/071505
申请日：2021-01-13
申请人：山东省科学院激光研究所
发明人：刘统玉 , 宁雅农 , 李艳芳 , 李德虎 , 金光贤 , 张伟
IPC分类号： G01N21/31 , G01N21/25 , G01N21/03 , G02B17/04
摘要：一种二维多点反射长光程气体传感器探头及气体传感器，该探头包括：壳体以及设置在壳体内的多点全反射式长光程光路模块（4）；多点全反射式长光程光路模块（4）包括两个间隔设定距离的直角反射镜组（11），直角反射镜组（11）的斜面相对设置且相互平行；两个直角反射镜组（11）中心线之间存在设定偏差，该偏差能够使得平行于中心线的光束在两个直角反射镜组（11）之间产生设定次数的反射，形成二维平行光束组。该气体传感器探头利用直角棱镜的全反射原理，将平行光束在两个直角棱镜或两组相互垂直的平面反射镜组中产生多次全反射，形成一组两维的平行光束组，从而增加了气体吸收的测量光程，有利于提高探测信噪比以及测量精度。

8. 发明申请

WO2022078028A1 一种甲醛气体传感器组模审中-公开
公开(公告)号：WO2022078028A1
公开(公告)日：2022-04-21
申请号：PCT/CN2021/110750
申请日：2021-08-05
申请人：海南聚能科技创新研究院有限公司
发明人：林仕伟 , 符坚 , 陈宝 , 周义龙 , 陈汉德 , 林正玺 , 王玲转 , 林慧媛 , 符智豪 , 黄修彩
IPC分类号： G01N27/04
摘要：一种甲醛气体传感器组模，包括：电路板、用于感应甲醛的敏感元件、用于加强敏感元件在低温条件下的感应效果的加热元件、用于放大和转化敏感元件的检测信号的模拟电路、壳体以及控制装置，敏感元件、加热元件以及模拟电路均设于电路板上，电路板设于壳体内；控制装置通过第一控制电路与敏感元件、模拟电路连接，以获取检测数据，控制装置通过第二控制电路与加热元件连接，以控制加热元件运行，第一控制电路和第二控制电路均设于电路板。本发明所提供的甲醛气体传感器组模，可以在低温条件下感应并有效检测甲醛浓度，也即可有效降低甲醛传感器的工作温度，减少耗能，使得甲醛传感器的性能更稳定、使用寿命更长。

9. 发明申请

WO2019085995A1 一种气体传感器及其陶瓷芯片审中-公开
公开(公告)号：WO2019085995A1
公开(公告)日：2019-05-09
申请号：PCT/CN2018/113680
申请日：2018-11-02
申请人：深圳市森世泰科技有限公司
发明人：李纯钢 , 袁春
IPC分类号： G01N27/407
CPC分类号： G01N27/407
摘要：一种气体传感器及其陶瓷芯片（E-1），陶瓷芯片（E-1）包括从上至下依次层叠的第一氧离子导体层（1、2）、绝缘层（3、4）与第二氧离子导体层（5、6），第一氧离子导体层（1、2）具有第一腔体，第二氧离子导体层（5、6）具有第二腔体，第一腔体的氧离子导体外侧和内侧上分别涂覆有外主泵电极（7）和内主泵电极（8）；绝缘层（3、4）上涂覆有加热器电极（9）；第二腔体的氧离子导体内侧上涂覆测量电极（10）和辅助泵电极（11），第二腔体的氧离子导体外侧上涂覆参考电极（12）；第一腔体内的第一腔室（13）与第二腔体内的第二腔室（14）通过绝缘层（3、4）上的穿孔狭缝（16）连通，第一腔室（13）与芯片外侧之间设置有第一扩散障（15），穿孔狭缝（16）作为气体通道的第二扩散障，第二腔室（14）与测量电极之间设置有第三扩散障（17）。本方案降低了热效应对芯片寿命的影响，减轻了离子导体层之间的相互影响，能够有效提高测量精度。

10. 发明申请

WO2021237796A1 一种横式微型红外气体传感器审中-公开
公开(公告)号：WO2021237796A1
公开(公告)日：2021-12-02
申请号：PCT/CN2020/094772
申请日：2020-06-05
申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人：李铁 , 刘延祥 , 王翊 , 周宏
IPC分类号： G01N21/3504
摘要：一种横式微型红外气体传感器，包括：微型光学气室(1)、红外光源(2)、红外探测器(3)、电源芯片(4)、ASIC芯片(5)和第一电路板(6)；微型光学气室(1)的光路为横式折叠反射结构，光路与第一电路板(6)平行设置；微型光学气室(1)包括光输入端和光输出端；红外光源(2)与光输入端连接，红外探测器(3)与光输出端连接；红外探测器(3)及红外光源(2)均与光路垂直设置；红外探测器(3)及红外光源(2)设于微型光学气室(1)的同一侧；微型光学气室(1)、红外光源(2)和红外探测器(3)集成于第一电路板(6)的一面，电源芯片(4)和ASIC芯片(5)集成于第一电路板(6)的另一面；红外探测器(3)采用MEMS封装技术进行集成化封装。采用系统级混合集成封装有效减小了红外气体传感器的体积。

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