会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~

一种高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统及调控方法

申请号 CN202211674206.3 申请日 2022-12-26 公开(公告)号 CN115920764A 公开(公告)日 2023-04-07
申请人 常州皓研智能科技有限公司; 发明人 朱明露; 李磊; 王亦君;
摘要 本 发明 涉及一种高精玻璃 抛光 过程 抛光液 在线调控系统及调整方法,其中调控系统包括与控制单元通信连接的表面张 力 调控模 块 、 磨料 粒度粒形调控模块、磨料浓度调控模块和抛光液循环装置;所述抛光液循环装置包括循环管道以及用于抛光液在循环管道内流动的 循环 泵 ;所述循环管道依次通过表面 张力 调控模块、磨料粒度粒形调控模块、磨料浓度调控模块和抛光工位。本发明中的调控系统和调控方法通过实验模拟不同磨料粒径和圆度抛光液混合后的结果,得到抛光液粒径和圆度变化时需补充的新抛光液的活性剂、磨料粒径、磨料圆度和磨液浓度,实时监控抛光液的理化性质,补充一定浓度 指定 粒径和圆度的新抛光液,使抛光液总体粒径和圆度保持在固定 水 平。
权利要求

1.一种高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统,其特征在于:包括与控制单元通信连接的表面张调控模磨料粒度粒形调控模块、磨料浓度调控模块和抛光液循环装置;所述抛光液循环装置包括循环管道以及用于抛光液在循环管道内流动的循环;所述循环管道依次通过表面张力调控模块、磨料粒度粒形调控模块、磨料浓度调控模块和抛光工位;
所述表面张力调控模块包括用于将循环管道内的抛光液定量取出的第一取液装置,用于检测抛光液表面张力的表面张力检测仪,以及用于向循环管道内补充表面活性剂的第一加料装置;
所述磨料粒度粒形调控模块包括用于将循环管道内的抛光液定量取出的第二取液装置,用于检测抛光液中磨料的粒度和粒形的粒度粒形检测仪,以及用于向循环管道内补充匹配出的相应刃的磨料的第二加料装置;
所述磨料浓度调控模块包括用于将循环管道内的抛光液定量取出的第三取液装置,用于检测抛光液中磨料浓度的浊度检测仪,以及用于向循环管道内补充抛光液的第三加料装置。
2.根据权利要求1所述的一种高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统,其特征在于:第一取液装置与表面张力检测仪之间,第二取液装置与粒度粒形检测仪之间,以及第三取液装置与浊度检测仪之间均分别设有用于承载取出的抛光液,并将抛光液转移至检测位的自动取样机构;所述自动取样机构与控制单元通信连接。
3.根据权利要求2所述的一种高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统,其特征在于:所述自动取样机构包括设置在机架上的量杯承载台、已检承载台和机械手;量杯承载台包括转动设置在机架上并可在第一电机驱动下进行转动的第一旋转台;已检承载台包括转动设置在机架上并可在第二电机驱动下进行转动的第二旋转台;所述第一旋转台和第二旋转台上均沿其转动轴线圆周均匀分布有多个用于放置量杯的放置位;第一旋转台上各放置位中有一个放置位与第一取液装置或第二取液装置或第三取液装置的出液口对应;
所述机械手用于抓取量杯承载台上的量杯至表面张力检测仪或粒度粒形检测仪或浊度检测仪,用于将表面张力检测仪或粒度粒形检测仪或浊度检测仪处的量杯转移至已检承载台;
所述第一电机、第二电机和机械手均与控制单元电连接。
4.根据权利要求3所述的一种高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统,其特征在于:所述第一旋转台和第二旋转台上的放置位设有量杯承载组件;所述量杯承载组件包括滑动设置在第一旋转台或者第二旋转台上,并在电动推杆驱动下进行升降运动的承载台;第一旋转台和第二旋转台上围绕承载台固定设有量杯定位护栏;承载台的上行极限位超出量杯定位护栏的上端部;所述电动推杆与控制单元电连接。
5.根据权利要求1所述的一种高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统,其特征在于:所述第一取液装置、第二取液装置和第三取液装置均为可调定量加液器;所述可调定量加液器的进液管与循环管道连通,且在进液管上设有与控制单元电连接的电磁
6.根据权利要求1所述的一种高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统,其特征在于:第二加料装置为多个用于分别存放抛光液中不同种类磨料的存罐;各存罐的出料口分别与一个粉料计量泵的进料口连接,各粉料计量泵的出料口与抛光液储存罐的进料口连接相通;
粉料计量泵与控制单元电连接。
7.一种利用权利要求1所述的高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统进行的调控方法,其特征在于包括以下步骤:
S1、准备工作:在控制单元上设置抛光液表面张力的检测周期、抛光液中磨料的粒度粒形的检测周期、抛光液中磨料浓度的检测周期;
S2、按照步骤S1中设置的各项检测周期,分别进行如下检测:
抛光液表面张力的检测:通过第一取液装置从循环管道内取样;然后将取样的抛光液放到表面张力检测仪下进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;
抛光液中磨料的粒度粒形的检测:通过第二取样装置从循环管道内取样;然后将取样的抛光液放到粒度粒形检测仪进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;
抛光液中磨料浓度的检测:通过第三取样装置从循环管道内取样;然后将取样的抛光液放到浊度检测仪进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;
S3、根据步骤S2的检测结果,进行如下调控:
表面张力的调控:控制单元根据检测结果得出表面活性剂的添加量,并将添加命令输送给第一加料装置;第一加料装置根据添加命令向循环管道内添加表面活性剂;
磨料粒度粒形的调控:控制单元根据检测结果匹配出相应刃角的磨料种类和添加量,并将匹配结果形成控制命令输送给第二加料装置;第二加料装置根据控制命令向循环管道内添加匹配出的相应磨料;
磨料浓度的调控:控制单元根据检测结果得出添加抛光液的添加量,并将添加命令输送给第三加料装置;第三加料装置根据添加命令向循环管道内添加抛光液;
其中磨料浓度的调控中添加的抛光液的磨料浓度高于用于抛光时的抛光液浓度。
8.一种利用权利要求3所述的高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统进行的调控方法,其特征在于包括以下步骤:
S1、准备工作:在控制单元上设置抛光液表面张力的检测周期、抛光液中磨料的粒度粒形的检测周期、抛光液中磨料浓度的检测周期;
S2、按照步骤S1中设置的各项检测周期,分别进行如下检测:
抛光液表面张力的检测:通过第一取液装置从循环管道内取样,并将取出的抛光液导入量杯承载台上的量杯内;然后机械手将量杯承载台上装有抛光液的量杯转移至表面张力检测仪下进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;然后机械手将装有监测后的抛光液的量杯转移至已检承载台上;
抛光液中磨料的粒度粒形的检测:通过第二取样装置从循环管道内取样,并将取出的抛光液导入量杯承载台上的量杯内;然后机械手将量杯承载台上装有抛光液的量杯转移至粒度粒形检测仪进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;然后机械手将装有监测后的抛光液的量杯转移至已检承载台上;
抛光液中磨料浓度的检测:通过第三取样装置从循环管道内取样,并将取出的抛光液导入量杯承载台上的量杯内;然后机械手将量杯承载台上装有抛光液的量杯转移至浊度检测仪进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;然后机械手将装有监测后的抛光液的量杯转移至已检承载台上;
其中,当机械手将量杯承载台上的量杯取走后,第一旋转台进行转动并将下一个放置位的量杯转至机械手抓取量杯的位置处;当机械手将量杯放置到已检承载台上后,第二旋转台进行转动并将下一个放置位的量杯转至机械手放置量杯的位置处;
S3、根据步骤S2的检测结果,进行如下调控:
表面张力的调控:控制单元根据检测结果得出表面活性剂的添加量,并将添加命令输送给第一加料装置;第一加料装置根据添加命令向循环管道内添加表面活性剂;
磨料粒度粒形的调控:控制单元根据检测结果匹配出相应刃角的磨料种类和添加量,并将匹配结果形成控制命令输送给第二加料装置;第二加料装置根据控制命令向循环管道内添加匹配出的相应磨料;
磨料浓度的调控:控制单元根据检测结果得出添加抛光液的添加量,并将添加命令输送给第三加料装置;第三加料装置根据添加命令向循环管道内添加抛光液;
其中磨料浓度的调控中添加的抛光液的磨料浓度高于用于抛光时的抛光液浓度。

说明书全文

一种高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统及调控方法

技术领域

[0001] 本发明涉及物理抛光领域,特别涉及一种高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统及调控方法。

背景技术

[0002] 在物理抛光加工领域,抛光液是一种必不可少加工辅料,抛光液一般是由溶剂磨料按照特定的比例组成,抛光过程中,抛光液中活性剂会逐渐减少、磨料粒径会逐渐减小、磨液浓度会逐渐减小、磨料圆度会逐渐增大,使得抛光液的去除效果下降,极大降低抛光效率,现有的抛光设备一般通过人为补充新的抛光液来解决这一问题,然而补充抛光液的时间以及补充的量都无法精确控制,导致抛光效果差效率低。

发明内容

[0003] 本发明的第一个目的是一种高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统,其能够通过实验模拟不同磨料粒径和圆度抛光液混合后的结果,得到抛光液粒径和圆度变化时需补充的新抛光液的活性剂、磨料粒径、磨料圆度和磨液浓度,实时监控抛光液的理化性质,补充一定浓度指定粒径和圆度的新抛光液,使抛光液总体粒径和圆度保持在固定平。
[0004] 实现本发明第一个目的的技术方案是:本发明中高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统,包括与控制单元通信连接的表面张调控模、磨料粒度粒形调控模块、磨料浓度调控模块和抛光液循环装置;所述抛光液循环装置包括循环管道以及用于抛光液在循环管道内流动的循环;所述循环管道依次通过表面张力调控模块、磨料粒度粒形调控模块、磨料浓度调控模块和抛光工位;
[0005] 所述表面张力调控模块包括用于将循环管道内的抛光液定量取出的第一取液装置,用于检测抛光液表面张力的表面张力检测仪,以及用于向循环管道内补充表面活性剂的第一加料装置;
[0006] 所述磨料粒度粒形调控模块包括用于将循环管道内的抛光液定量取出的第二取液装置,用于检测抛光液中磨料的粒度和粒形的粒度粒形检测仪,以及用于向循环管道内补充匹配出的相应刃的磨料的第二加料装置;
[0007] 所述磨料浓度调控模块包括用于将循环管道内的抛光液定量取出的第三取液装置,用于检测抛光液中磨料浓度的浊度检测仪,以及用于向循环管道内补充抛光液的第三加料装置。
[0008] 进一步,第一取液装置与表面张力检测仪之间,第二取液装置与粒度粒形检测仪之间,以及第三取液装置与浊度检测仪之间均分别设有用于承载取出的抛光液,并将抛光液转移至检测位的自动取样机构;所述自动取样机构与控制单元通信连接。
[0009] 进一步,上述自动取样机构包括设置在机架上的量杯承载台、已检承载台和机械手;量杯承载台包括转动设置在机架上并可在第一电机驱动下进行转动的第一旋转台;已检承载台包括转动设置在机架上并可在第二电机驱动下进行转动的第二旋转台;所述第一旋转台和第二旋转台上均沿其转动轴线圆周均匀分布有多个用于放置量杯的放置位;第一旋转台上各放置位中有一个放置位与第一取液装置或第二取液装置或第三取液装置的出液口对应;
[0010] 所述机械手用于抓取量杯承载台上的量杯至表面张力检测仪或粒度粒形检测仪或浊度检测仪,用于将表面张力检测仪或粒度粒形检测仪或浊度检测仪处的量杯转移至已检承载台;
[0011] 所述第一电机、第二电机和机械手均与控制单元电连接。
[0012] 进一步,上述第一旋转台和第二旋转台上的放置位设有量杯承载组件;所述量杯承载组件包括滑动设置在第一旋转台或者第二旋转台上,并在电动推杆驱动下进行升降运动的承载台;第一旋转台和第二旋转台上围绕承载台固定设有量杯定位护栏;承载台的上行极限位超出量杯定位护栏的上端部;所述电动推杆与控制单元电连接。
[0013] 进一步,上述第一取液装置、第二取液装置和第三取液装置均为可调定量加液器;所述可调定量加液器的进液管与循环管道连通,且在进液管上设有与控制单元电连接的电磁
[0014] 第二加料装置为多个用于分别存放抛光液中不同种类磨料的存罐;各存罐的出料口分别与一个粉料计量泵的进料口连接,各粉料计量泵的出料口与抛光液储存罐的进料口连接相通;粉料计量泵与控制单元电连接。
[0015] 本发明的第二个目的是提供利用上述调控系统进行的调控方法,其能够自动检测抛光液情况,实施精准调控抛光液成分,保证抛光效果差。
[0016] 实现本发明第二个目的的技术方案是:本发明中利用上述高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统进行的调控方法,包括以下步骤:
[0017] S1、准备工作:在控制单元上设置抛光液表面张力的检测周期、抛光液中磨料的粒度粒形的检测周期、抛光液中磨料浓度的检测周期;
[0018] S2、按照步骤S1中设置的各项检测周期,分别进行如下检测:
[0019] 抛光液表面张力的检测:通过第一取液装置从循环管道内取样;然后将取样的抛光液放到表面张力检测仪下进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;
[0020] 抛光液中磨料的粒度粒形的检测:通过第二取样装置从循环管道内取样;然后将取样的抛光液放到粒度粒形检测仪进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;
[0021] 抛光液中磨料浓度的检测:通过第三取样装置从循环管道内取样;然后将取样的抛光液放到浊度检测仪进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;
[0022] S3、根据步骤S2的检测结果,进行如下调控:
[0023] 表面张力的调控:控制单元根据检测结果得出表面活性剂的添加量,并将添加命令输送给第一加料装置;第一加料装置根据添加命令向循环管道内添加表面活性剂;
[0024] 磨料粒度粒形的调控:控制单元根据检测结果匹配出相应刃角的磨料种类和添加量,并将匹配结果形成控制命令输送给第二加料装置;第二加料装置根据控制命令向循环管道内添加匹配出的相应磨料;
[0025] 磨料浓度的调控:控制单元根据检测结果得出添加抛光液的添加量,并将添加命令输送给第三加料装置;第三加料装置根据添加命令向循环管道内添加抛光液;
[0026] 其中磨料浓度的调控中添加的抛光液的磨料浓度高于用于抛光时的抛光液浓度。
[0027] 当带有自动取样机构的高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统进行的调控方法,包括以下步骤:
[0028] S1、准备工作:在控制单元上设置抛光液表面张力的检测周期、抛光液中磨料的粒度粒形的检测周期、抛光液中磨料浓度的检测周期;
[0029] S2、按照步骤S1中设置的各项检测周期,分别进行如下检测:
[0030] 抛光液表面张力的检测:通过第一取液装置从循环管道内取样,并将取出的抛光液导入量杯承载台上的量杯内;然后机械手将量杯承载台上装有抛光液的量杯转移至表面张力检测仪下进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;然后机械手将装有监测后的抛光液的量杯转移至已检承载台上;
[0031] 抛光液中磨料的粒度粒形的检测:通过第二取样装置从循环管道内取样,并将取出的抛光液导入量杯承载台上的量杯内;然后机械手将量杯承载台上装有抛光液的量杯转移至粒度粒形检测仪进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;然后机械手将装有监测后的抛光液的量杯转移至已检承载台上;
[0032] 抛光液中磨料浓度的检测:通过第三取样装置从循环管道内取样,并将取出的抛光液导入量杯承载台上的量杯内;然后机械手将量杯承载台上装有抛光液的量杯转移至浊度检测仪进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;然后机械手将装有监测后的抛光液的量杯转移至已检承载台上;
[0033] 其中,当机械手将量杯承载台上的量杯取走后,第一旋转台进行转动并将下一个放置位的量杯转至机械手抓取量杯的位置处;当机械手将量杯放置到已检承载台上后,第二旋转台进行转动并将下一个放置位的量杯转至机械手放置量杯的位置处;
[0034] S3、根据步骤S2的检测结果,进行如下调控:
[0035] 表面张力的调控:控制单元根据检测结果得出表面活性剂的添加量,并将添加命令输送给第一加料装置;第一加料装置根据添加命令向循环管道内添加表面活性剂;
[0036] 磨料粒度粒形的调控:控制单元根据检测结果匹配出相应刃角的磨料种类和添加量,并将匹配结果形成控制命令输送给第二加料装置;第二加料装置根据控制命令向循环管道内添加匹配出的相应磨料;
[0037] 磨料浓度的调控:控制单元根据检测结果得出添加抛光液的添加量,并将添加命令输送给第三加料装置;第三加料装置根据添加命令向循环管道内添加抛光液;
[0038] 其中磨料浓度的调控中添加的抛光液的磨料浓度高于用于抛光时的抛光液浓度。
[0039] 以上表面活性剂添加量m=(C1‑C2)*V;其中V为抛光液循环装置中抛光液的体积,C1为表面张力典型值对应的有效浓度,C2为检测出的表面张力值对应的有效浓度。
[0040] 根据检测出的磨料粒度值,若圆度>0.95添加圆度≤0.8的磨料,若圆度>0.9添加圆度≤0.85的磨料。所述磨料为化铈。
[0041] 以上磨料的添加量m=(C3‑C4)*V;其中V为抛光液循环装置中抛光液的体积,C3为浊度典型值对应的磨料浓度,C4为系统检测浊度值对应的磨料浓度。
[0042] 本发明具有积极的效果:本发明针对抛光过程中抛光液理化性质变化影响抛光效果效率问题,提出了一种抛光液在线调控系统,集抛光液理化性质监测和动态调整于一体,及时补充适量特定的粒径、圆度、浓度抛光液,使抛光液总体粒径和圆度保持在固定水平,整个过程依托计算机控制,智能化程度高,极大的节约了人力成本、提高了抛光效率和质量附图说明
[0043] 为了使本发明的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本发明作进一步详细的说明,其中
[0044] 图1为本发明中高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统的结构示意图;
[0045] 图2为本发明中自动取样机构的结构示意图;
[0046] 图3为本发明中量杯承载台的结构示意图;
[0047] 图4为本发明的工作流程图
[0048] 图5为本发明中表面张力与浓度曲线图;
[0049] 图6为本发明中浊度&浓度曲线图。

具体实施方式

[0050] 见图1至图3,本发明中高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统,包括与控制单元通信连接的表面张力调控模块1、磨料粒度粒形调控模块2、磨料浓度调控模块3和抛光液循环装置4;所述抛光液循环装置4包括循环管道以及用于抛光液在循环管道内流动的循环泵41;所述循环管道依次通过表面张力调控模块1、磨料粒度粒形调控模块2、磨料浓度调控模块3和抛光工位5;
[0051] 所述表面张力调控模块1包括用于将循环管道内的抛光液定量取出的第一取液装置11,用于检测抛光液表面张力的表面张力检测仪12,表面张力检测仪12可采用全自动张力测定仪,型号为MEZL‑503C,以及用于向循环管道内补充表面活性剂的第一加料装置13;
[0052] 所述磨料粒度粒形调控模块2包括用于将循环管道内的抛光液定量取出的第二取液装置21,用于检测抛光液中磨料的粒度和粒形的粒度粒形检测仪22,粒度粒形检测仪22可采用全自动粒度粒形分析仪,型号为Morphologi‑4,以及用于向循环管道内补充匹配出的相应刃角的磨料的第二加料装置23;
[0053] 所述磨料浓度调控模块3包括用于将循环管道内的抛光液定量取出的第三取液装置31,用于检测抛光液中磨料浓度的浊度检测仪32,浊度检测仪32可采用型号为WGZ‑1C的浊度水质自动分析仪,以及用于向循环管道内补充抛光液的第三加料装置33。
[0054] 第一取液装置11与表面张力检测仪12之间,第二取液装置21与粒度粒形检测仪22之间,以及第三取液装置31与浊度检测仪32之间均分别设有用于承载取出的抛光液,并将抛光液转移至检测位的自动取样机构6;所述自动取样机构6与控制单元通信连接。
[0055] 所述自动取样机构6包括设置在机架61上的量杯承载台62、已检承载台63和机械手64;量杯承载台62包括转动设置在机架61上并可在第一电机621驱动下进行转动的第一旋转台622;已检承载台63包括转动设置在机架61上并可在第二电机驱动下进行转动的第二旋转台;所述第一旋转台622和第二旋转台上均沿其转动轴线圆周均匀分布有多个用于放置量杯的放置位623;第一旋转台622上各放置位623中有一个放置位与第一取液装置11或第二取液装置21或第三取液装置31的出液口对应;
[0056] 所述机械手64用于抓取量杯承载台62上的量杯至表面张力检测仪12或粒度粒形检测仪22或浊度检测仪32,用于将表面张力检测仪12或粒度粒形检测仪22或浊度检测仪32处的量杯转移至已检承载台63;
[0057] 所述第一电机621、第二电机和机械手64均与控制单元电连接。
[0058] 所述第一旋转台622和第二旋转台上的放置位623设有量杯承载组件;所述量杯承载组件包括滑动设置在第一旋转台622或者第二旋转台上,并在电动推杆624驱动下进行升降运动的承载台625;第一旋转台622和第二旋转台上围绕承载台625固定设有量杯定位护栏626;承载台625的上行极限位超出量杯定位护栏626的上端部;所述电动推杆624与控制单元电连接。
[0059] 所述第一取液装置11、第二取液装置21和第三取液装置31均为可调定量加液器,可采用型号为LBX‑HandyStep的可调定量加液器;所述可调定量加液器的进液管与循环管道连通,且在进液管上设有与控制单元电连接的电磁阀
[0060] 第二加料装置23为多个用于分别存放抛光液中不同种类磨料的存罐;各存罐的出料口分别与一个粉料计量泵的进料口连接,各粉料计量泵的出料口与抛光液储存罐的进料口连接相通;粉料计量泵与控制单元电连接。
[0061] 见图4,本发明中利用上述高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统进行的调控方法,包括以下步骤:
[0062] S1、准备工作:在控制单元上设置抛光液表面张力的检测周期、抛光液中磨料的粒度粒形的检测周期、抛光液中磨料浓度的检测周期;
[0063] S2、按照步骤S1中设置的各项检测周期,分别进行如下检测:
[0064] 抛光液表面张力的检测:通过第一取液装置11从循环管道内取样,并将取出的抛光液导入量杯承载台62上的量杯内;然后机械手64将量杯承载台62上装有抛光液的量杯转移至表面张力检测仪12下进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;然后机械手64将装有监测后的抛光液的量杯转移至已检承载台63上;
[0065] 抛光液中磨料的粒度粒形的检测:通过第二取样装置21从循环管道内取样,并将取出的抛光液导入量杯承载台62上的量杯内;然后机械手64将量杯承载台62上装有抛光液的量杯转移至粒度粒形检测仪22进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;然后机械手64将装有监测后的抛光液的量杯转移至已检承载台63上;
[0066] 抛光液中磨料浓度的检测:通过第三取样装置31从循环管道内取样,并将取出的抛光液导入量杯承载台62上的量杯内;然后机械手64将量杯承载台62上装有抛光液的量杯转移至浊度检测仪32进行检测;然后将检测结果传输给控制单元;然后机械手64将装有监测后的抛光液的量杯转移至已检承载台63上;
[0067] 其中,当机械手64将量杯承载台62上的量杯取走后,第一旋转台622进行转动并将下一个放置位623的量杯转至机械手64抓取量杯的位置处;当机械手64将量杯放置到已检承载台63上后,第二旋转台进行转动并将下一个放置位623的量杯转至机械手64放置量杯的位置处;
[0068] S3、根据步骤S2的检测结果,进行如下调控:
[0069] 表面张力的调控:控制单元根据检测结果得出表面活性剂的添加量,并将添加命令输送给第一加料装置13;第一加料装置13根据添加命令向循环管道内添加表面活性剂;
[0070] 磨料粒度粒形的调控:控制单元根据检测结果匹配出相应刃角的磨料种类和添加量,并将匹配结果形成控制命令输送给第二加料装置23;第二加料装置23根据控制命令向循环管道内添加匹配出的相应磨料;
[0071] 磨料浓度的调控:控制单元根据检测结果得出添加抛光液的添加量,并将添加命令输送给第三加料装置33;第三加料装置33根据添加命令向循环管道内添加抛光液;
[0072] 其中磨料浓度的调控中添加的抛光液的磨料浓度高于用于抛光时的抛光液浓度。
[0073] 以上表面活性剂添加量m=(C1‑C2)*V;其中V为抛光液循环装置4中抛光液的体积,C1为表面张力典型值对应的有效浓度,C2为检测出的表面张力值对应的有效浓度。
[0074] 根据检测出的磨料粒度值,若圆度>0.95添加圆度≤0.8的磨料,若圆度>0.9添加圆度≤0.85的磨料。所述磨料为氧化铈。
[0075] 以上磨料的添加量m=(C3‑C4)*V;其中V为抛光液循环装置4中抛光液的体积,C3为浊度典型值对应的磨料浓度,C4为系统检测浊度值对应的磨料浓度。
[0076] 本发明中控制单元对于检测结果的技术过程进行以下举例说明:
[0077] 表面张力的调控:先取100ml抛光液,系统自动读取的表面张力值38,2小时后再次进行检测时,表面张力变为40,对照表面张力与浓度曲线(如附,5),自动添加表面活性剂用量,表面活性剂添加量m=(0.0063‑0.005)*200=0.26kg;
[0078] 磨料粒度粒形的调控:每隔2小时取样,通过图像法测试抛光液中磨料圆度值变化;依据反馈的磨料粒度值0.93,因为0.95>0.93>0.9,根据判断标准圆度>0.95,添加圆度≤0.8的氧化铈;若圆度>0.9,添加圆度≤0.85的氧化铈;
[0079] 磨料浓度的调控:每隔2小时取样测试抛光液浊度;依据反馈的磨料浊度值4,对照浊度&浓度曲线(见附图6),测算现有抛光液中磨料浓度C4,磨料添加量m=(0.04‑0.02)*200=4g。
[0080] 以上所述的具体实施例,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。