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肘节型手动阀以及阀单元
申请号	CN202380013169.8	申请日	2023-03-07	公开(公告)号	CN117813461A	公开(公告)日	2024-04-02
申请人	CKD株式会社;			发明人	井上豊; 青山达人;
摘要	在连结于开关流路的阀部(2)的壳体(4)，配置可直线来回运动的阀棒(50)。阀棒(50)借由弹簧 (9)被朝阀部方向偏压。在阀棒(50)的上端部，手动杠杆(6)被轴向支撑为可转动。阀棒(50)被分割成连结手动杠杆(6)的第一杆部(51)、以及位于阀部(2)侧的第二杆部(52)。被固定于第一杆部(51)的连结销(55)插穿在第二杆部(52)沿着轴线方向形成的长孔(52b)，第一杆部(51)对于第二杆部(52)可在长孔(52b)的范围中相对地移动。
权利要求	1.一种肘节型手动阀，包括：阀部，开关流路；壳体，被连结于该阀部；阀棒，可朝向该阀部直线来回运动地被保持于该壳体；偏压构件，将该阀棒朝阀部方向偏压；以及手动杠杆，在该阀棒之位于与该阀部为相反侧的端部被轴向支撑为可转动；借由使该手动杠杆转动而开关该阀部；该阀棒被分割成连结该手动杠杆的第一杆部、以及位于阀部侧的第二杆部，在该第一杆部与该第二杆部的一方被固定有销；在该第一杆部与该第二杆部的另一方沿着该阀棒的轴方向形成、且被形成为该销可滑动地插穿的长孔。 2.根据权利要求1所述的肘节型手动阀，其中，成为外形的宽度尺寸为10mm的薄长方体形状；该手动杠杆在朝水平方向转动而关闭该阀部的水平位置、以及朝起立方向转动而使该阀棒抵抗该偏压构件而移动的起立位置之间摇动。 3.根据权利要求1或2所述的肘节型手动阀，更具有：锁轴构件，立起设置于该壳体的该手动杠杆所配置的上面，具有安装挂锁的安装孔；该手动杠杆被形成该锁轴构件插穿的插穿孔。 4.根据权利要求3所述的肘节型手动阀，其中，在该壳体的该上面，被形成在包夹该阀棒的对称位置、可安装该锁轴构件的第一安装孔部以及第二安装孔部；该锁轴构件可选择地安装于该第一安装孔部以及该第二安装孔部之任一方；至少该第一杆部之被安装该手动杠杆的部分为圆柱形状，且使该手动杠杆可在包夹该第一杆部下反转而安装。 5.根据权利要求1至4中任一项所述的肘节型手动阀，其中，该偏压构件将该第二杆部朝该阀部方向偏压；在该阀部为关阀状态的情况下，在该销与位于该长孔之与该阀部为相反侧的内侧面之间设置第一间隙，此外，在该第二杆部与该第一杆部之间设置第二间隙。 6.根据权利要求1至5中任一项所述的肘节型手动阀，其中，该第一杆部以及该第二杆部为粗细相同的圆棒；在该第一杆部之位于该阀部侧的第一端部，设置朝该第二杆部侧突出的第一突片；在该第二杆部之位于与该阀部为相反侧的第二端部，设置朝该第一杆部侧突出的第二突片；该销被固定于该第一突片与该第二突片的任一方，该长孔被形成于该第一突片与该第二突片的另一方。 7.根据权利要求6所述的肘节型手动阀，其中，将该第一突片朝对于该第一杆部的轴线方向正交的方向剖开的剖面的形状为半圆形状；将该第二突片朝对于该第二杆部的轴线方向正交的方向剖开的剖面的形状为半圆形状。 8.根据权利要求6所述的肘节型手动阀，其中，该第二突片为沿着该第二杆部的直径方向被设置为板状的板状突片；该第一突片为被配置于该板状突片的两侧的一对的突部；该长孔被形成于该板状突片，该连结销沿着对于该第一杆部的轴线正交的方向而被固定于该一对的突部。 9.一种阀单元，为连接设置有复数个根据权利要求1至8中任一项所述的肘节型手动阀，其中，所述复数个肘节型手动阀在该手动杠杆朝水平方向摇动而关闭该阀部的状态下该手动杠杆彼此被配置在相异的摆向。 10.根据权利要求9所述的阀单元，其中，所述复数个肘节型手动阀的该手动杠杆分别具有在被朝起立方向摇动的情况下、在使顶端部为越过该阀棒而转动的姿势中限制该壳体的转动的挡止部。
说明书全文	肘节型手动阀以及阀单元技术领域 [0001] 本发明关于借由转动手动杠杆而开关阀部的肘节型手动阀。背景技术 [0002] 例如，在半导体制造产线的气体管线中，借由转动手动杠杆而开关阀部的肘节型手动阀被使用。例如，在专利文献1所记载的肘节型手动阀中，手动杠杆在阀棒之位于与阀部为相反侧的端部被轴向支撑为可旋转。当手动杠杆朝水平方向转动而为水平状态时，阀棒被弹簧偏压而朝阀部方向移动，并关闭阀部。另一方面，当手动杠杆朝起立方向转动而为倒立姿势时，阀棒抵抗弹簧而朝与阀部相反的朝向移动，并开启阀部。现有技术文献专利文献 [0003] 专利文献1：日本专利第4053118号公报发明内容发明要解决的课题 [0004] 上述肘节型手动阀，阀棒借由一个零件构成。因此，若手动杠杆，例如，被作业员的手碰到等而转动的话，阀棒随即追随手动杠杆而移动，并违反作业员的意图而产生泄漏。 [0005] 本说明书所揭露的技术是为了解决上述问题点而完成的，以提供一种在借由使手动杠杆转动而开关阀部的肘节型手动阀中、抑制违反作业员的意图之泄漏的技术为目的。用于解决课题的技术手段 [0006] 本说明书中所揭露的技术的一个态样是，(1)一种肘节型手动阀，包括阀部、壳体、阀棒、偏压构件、以及手动杠杆。阀部开关流路。壳体被连结于前述阀部。阀棒可朝向前述阀部直线来回运动地被保持于前述壳体。偏压构件将前述阀棒朝阀部方向偏压。手动杠杆在前述阀棒之位于与前述阀部为相反侧的端部被轴向支撑为可转动。借由使前述手动杠杆转动而开关前述阀部。前述阀棒被分割成连结前述手动杠杆的第一杆部、以及位于阀部侧的第二杆部。在前述第一杆部与前述第二杆部的一方被固定有销。在前述第一杆部与前述第二杆部的另一方沿着前述阀棒的轴方向形成、且被形成为前述销可滑动地插穿的长孔。 [0007] 具有如此构成的肘节型手动阀，只要销在可在长孔内移动的范围的话，被连结于手动杠杆的第一杆部被容许对于第二杆部相对地移动。借此，例如，即使作业员的手碰到手动杠杆等、而外力作用于手动杠杆，也只有第一杆部追随手动杠杆而移动，而第二杆部不会移动。于是，肘节型手动阀可抑制违反作业员的意图之泄漏。 [0008] (2)在(1)中所述的肘节型手动阀中，较佳为成为外形的宽度尺寸为10mm的薄长方体形状。前述手动杠杆在朝水平方向转动而关闭前述阀部的水平位置、以及朝起立方向转动而使前述阀棒抵抗前述偏压构件而移动的起立位置之间摇动。 [0009] 依据具有如此构成的肘节型手动阀，由于即使宽度薄至10mm，也能抑制操作者的非意图之泄漏，所以即使在将复数个肘节型手动阀单元化的情况下也方便使用。又，肘节型手动阀由于手动杠杆在水平位置与起立位置两个位置间转动，所以容易借由目视确认阀的开关状态。 [0010] (3)在(1)或(2)所述的肘节型手动阀中，较佳为更具有锁轴构件，立起设置于前述壳体的前述手动杠杆所配置的上面，具有安装挂锁的安装孔。前述手动杠杆被形成前述锁轴构件插穿的插穿孔。 [0011] 依据具有如此构成的肘节型手动阀，借由将安装有挂锁的锁轴构件安装于壳体的上面，可简单地添加防止手动杠杆的误操作的锁固机构。 [0012] (4)在(3)所述的肘节型手动阀中，较佳为在前述壳体的前述上面，被形成在包夹前述阀棒的对称位置、可安装前述锁轴构件的第一安装孔部以及第二安装孔部。前述锁轴构件可选择地安装于前述第一安装孔部以及前述第二安装孔部之任一方。至少前述第一杆部之被安装前述手动杠杆的部分为圆柱形状，且使前述手动杠杆可在包夹前述第一杆部下反转而安装。 [0013] 依据具有如此构成的肘节型手动阀，锁轴构件可选择地安装于第一安装孔部与第二安装孔部，此外，可对应锁轴构件的位置而改变手动杠杆的摆向。于是，肘节型手动阀可以不受流体的流动方向的约束而改变手动杠杆的摆向，方便使用。 [0014] (5)在(1)至(4)中任一项所述的肘节型手动阀中，较佳为前述偏压构件将前述第二杆部朝前述阀部方向偏压。在前述阀部为关阀状态的情况下，在前述销与位于前述长孔之与前述阀部为相反侧的内侧面之间设置第一间隙，此外，在前述第二杆部与前述第一杆部之间设置第二间隙。 [0015] 依据具有如此构成的肘节型手动阀，由于在销、以及位于长孔的阀部相反侧的内侧圆之间形成第一间隙，所以，例如，即使在阀部关阀状态时手碰到手动杠杆，销移动于第一间隙而不会拉起第二杆部，流体不会泄漏。又，肘节型手动阀由于借由第二间隙而在关阀时之偏压构件以外的外力不作用于第二杆部，所以防止阀部借由偏压构件以外的外力而损坏。 [0016] (6)在(1)至(5)中任一项所述的肘节型手动阀中，较佳为前述第一杆部以及前述第二杆部为粗细相同的圆棒。在前述第一杆部之位于前述阀部侧的第一端部，设置朝前述第二杆部侧突出的第一突片。在前述第二杆部之位于与前述阀部为相反侧的第二端部，设置朝前述第一杆部侧突出的第二突片。前述销被固定于前述第一突片与前述第二突片的任一方，前述长孔被形成于前述第一突片与前述第二突片的另一方。 [0017] 依据具有如此构成的肘节型手动阀，借由将第一杆部的第一突片与第二杆部的第二突片经由销与长孔而连结的小型化构造，可防止伴随着手动杠杆的误操作之流体泄漏。 [0018] (7)在(6)所述的肘节型手动阀中，较佳为将前述第一突片朝对于前述第一杆部的轴线方向正交的方向剖开的剖面的形状为半圆形状。将前述第二突片朝对于前述第二杆部的轴线方向正交的方向剖开的剖面的形状为半圆形状。 [0019] 依据具有如此构成的肘节型手动阀，由于可在容纳阀棒的区域内链接第一杆部与第二杆部，所以可使阀尺寸小型化。 [0020] (8)在(6)所述的肘节型手动阀中，较佳为前述第二突片为沿着前述第二杆部的直径方向被设置为板状的板状突片。前述第一突片为被配置于前述板状突片的两侧的一对的突部。前述长孔被形成于前述板状突片，前述连结销沿着对于前述第一杆部的轴线正交的方向而被固定于前述一对的突部。 [0021] 依据具有如此构成的肘节型手动阀，由于可在容纳阀棒的区域内链接第一杆部与第二杆部，所以可使阀尺寸小型化。又，肘节型手动阀由于销被固定于配置在板状突片的两侧的一对的突部，所以，例如，在第一杆部经由销而将第二杆部朝阀部的相反侧拉而开启阀的时候，负载几乎均匀地作用于销。因此，即使在反复进行阀的开关的情况下，销也难以从第一杆部脱落。 [0022] 本说明书中揭露的技术的其他态样是，(9)一种阀单元，为连接设置有如(1)至(8)中任一项所述的复数个肘节型手动阀，其中，前述复数个肘节型手动阀在前述手动杠杆朝水平方向摇动而关闭前述阀部的状态下前述手动杠杆彼此被配置在相异的摆向。 [0023] 具有上述构成的阀单元，在连接设置复数个肘节型手动阀的情况下，由于手动杠杆的摆向是彼此不同的，所以相较于将手动杠杆的摆向对齐于一个方向的情况，相邻的手动杠杆的配置间隔变宽。因此，当作业员操作某个手动杠杆的时候，容易避免相邻的手动杠杆错误地一起动作。又，各肘节型手动阀即使外力作用于手动杠杆也难以产生违反作业员的意图的泄漏。因此，依据具有上述构成的阀单元，可以抑制违反作业员的意图的泄漏从肘节型手动阀发生。 [0024] (10)在(9)所述的阀单元中，较佳为前述复数个肘节型手动阀的前述手动杠杆分别具有在被朝起立方向摇动的情况下、在使顶端部为越过前述阀棒而转动的姿势中限制前述壳体的转动的挡止部。 [0025] 具有上述构成的阀单元，在彼此不同配置的手动杠杆被朝起立方向摇动的情况下，借由挡止部，在使顶端部为越过阀棒而转动的姿势中限制转动。因此，即使作业员在将某个手动杠杆朝水平方向转动的情况下接触相邻的手动杠杆，相邻的手动杠杆也不会进一步旋转。如此，由于只有操作对象的肘节型手动阀被关阀，非操作对象的肘节型手动阀不被关阀，误操作被抑制。发明效果 [0026] 依据本说明书所揭露的技术，可在借由使手动杠杆转动而开关阀部的肘节型手动阀中、抑制违反作业员的意图之泄漏。附图说明 [0027] 图1为安装有挂锁的第一实施例的肘节型手动阀的外观立体图。图2为肘节型手动阀的前视图。图3为肘节型手动阀的俯视图。图4为图2的A‑A剖面图。图5为对应于图4的剖面图，且表示开阀状态。图6为图3的B‑B剖面图。图7为图6的C部的放大图。图8为说明第一杆部与第二杆部的连结构造的图。图9为对应于图7的放大剖面图，且表示开阀状态。图10为关阀时的肘节型手动阀的局部剖面图。图11为四连阀单元的俯视图。图12为四连阀单元的外观立体图。图13为四连阀单元的外观立体图。图14为图12的俯视图。图15为安装有挂锁的四连阀单元的外观立体图。图16为第二实施例的肘节型手动阀的剖面图。图17为说明第一杆部与第二杆部的连结构造的图。图18为四连阀单元的剖面图。具体实施方式 [0028] (第一实施例)以下，针对在本说明书中揭露的肘节型手动阀的一实施例基于图式进行说明。图1为安装有挂锁10的肘节型手动阀1的外观立体图。 [0029] 如图1所示，肘节型手动阀1是，例如，被组入切换复数的气体而朝反应容器供给的气体供给单元。为了使气体供给单元小型化，本实施例的肘节型手动阀1成为宽度尺寸W1被设定为10mm的薄长方体形状，使宽面彼此抵接而单元化。 [0030] 肘节型手动阀1，壳体4被安装于流体流过的阀部2。在壳体4之位于与阀部2为相反侧的面(以下称为「上面」)4a，设置有用于控制阀部2的开关的手动杠杆6。手动杠杆6被形成插穿孔62。锁轴构件8立起设置于壳体4的上面4a，插穿手动杠杆6的插穿孔62。借由在从插穿孔62突出之锁轴构件8的顶端部设置挂锁10，手动杠杆6的操作被限制。 [0031] 图2为肘节型手动阀1的前视图。手动杠杆6配置为在图2中以实线所示、朝水平方向摇动而关闭阀部2的水平位置，以及在图2中以两点链线所示、朝起立方向摇动而开启阀部2的起立位置之间摇动。 [0032] 图3为肘节型手动阀1的俯视图。手动杠杆6以不突出到比壳体4的一对宽面4b、4c更外侧的方式，被设置在10mm以下的宽度尺寸。在手动杠杆6，被形成锁轴构件8插穿的插穿孔62。插穿孔62以即使锁轴构件8立起设置于壳体4的上面4a、手动杠杆6也可以在水平位置与起立位置之间转动的方式，被细长地形成。 [0033] 如图2的实线所示，在手动杠杆6在水平位置的情况下，顶端部61从位于壳体4的一对的宽面4b、4c之间的侧面4d朝侧方向突出。借此，手动杠杆6容易借由指尖从下方将顶端部61上推。顶端部61被形成为尖细形状。 [0034] 图4为图2的A‑A剖面图且表示关阀状态。图5为对应于图4的图且表示开阀状态。图6为图3的B‑B剖面图。图7为图6的C部的放大图。图8为说明第一杆部51与第二杆部52的连结构造的图。图9为对应于图7的放大剖面图，且表示开阀状态。图10为关阀时的肘节型手动阀的局部剖面图。 [0035] 如图4、图5、图6、图10所示，在壳体4，第一中空孔部4g、第二中空孔部4h以及第三中空孔部4i在中央部被形成在同轴上。如图10所示，第一中空孔部4g与第二中空孔部4h剖面是圆形状。第二中空孔部4h被设置为比第一中空孔部4g更大的径长，且阶梯差部4k被设置于第一中空孔部4g与第二中空孔部4h之间。第三中空孔部4i被设置为长方体形状，且朝壳体4的下面4f开口。隔膜推抵件34被收容于第三中空孔部4i。 [0036] 如图4、图5、图10所示，阀棒50贯穿第一中空孔部4g、第二中空孔部4h、第三中空孔部4i。阀棒50之位于与阀部2为相反侧的端部(图中的上端部)比第一中空孔部4g更朝上方突出。在此阀棒50的突出部分，手动杠杆6经由凸轮轴56而可转动地连结。阀棒50在被配置于第二中空孔部4h的部分设置有锷部52c。弹簧9在压缩状态下被设置于第一中空孔部4g与第二中空孔部4h之间的阶梯差部4k、与阀棒50的锷部52c之间，且经常对于阀棒50施加阀部方向(图中朝下)的力。弹簧9为偏压构件之一例。如图6所示，阀棒50下端部朝阀部2侧突出，且将弹簧9的偏压力经由加压构件53传递至隔膜31。 [0037] 如图6所示，阀部2包括形成有第一流路22与第二流路23的流路块21。流路块21包括借由隔膜31被气密地划分的阀室24。第一流路22与第二流路23经由阀室24而连通。阀室24沿着第二流路23朝阀室24开口的开口部分的外周设置有阀座25。阀部2借由隔膜31抵接或远离阀座25而控制流体的流通。借由将第一保持构件33拧入流路块21、且使第二保持构件35推抵隔膜31的外缘部，使隔膜31被气密地安装于流路块21。在第二保持构件35，圆柱形状的加压构件53可滑动地被收容。第一保持构件33借由被装配于第三中空孔部4i的矩形形状的防松动构件32被限制旋转，而防止松动。隔膜推抵件34借由第一保持构件33与第二保持构件35与防松动构件32而构成。 [0038] 阀棒50被分割为第一杆部51与第二杆部52。第一杆部51与第二杆部52为剖面是圆形状的圆棒，且具有相同的粗细。第一杆部51可滑动地插穿第一中空孔部4g，且可朝轴方向稳定地移动。第二杆部52包括锷部52c。第二杆部52上端部可滑动地被支撑于第一中空孔部4g、锷部52c可滑动地被填装于第二中空孔部4h，此外，下端部可滑动地被保持于第一保持构件33，借此可朝轴方向稳定地移动。 [0039] 如图7以及图8所示，在第一杆部51之第二杆部52侧、也就是位于阀部2侧的端部(图中的下端部，第一端部之一例)，剖面是半圆形状的第一突片51a被设置为朝轴方向突出。在第二杆部52之第一杆部51侧、也就是位于与阀部2为相反侧的端部(图中的上端部，第二端部之一例)，剖面是半圆形状的第二突片52a被设置为朝轴方向突出。 [0040] 如此，第一杆部51与第二杆部52对接的端部被形成为凹凸状。阀棒50借由在第一中空孔部4g的区域内，使第一突片51a的径长部分的平坦面51g与第二突片52a的径长部分的平坦面52g相向的状态下被凹凸卡合，而将第一杆部51与第二杆部52配置于同轴上。 [0041] 如图4、图5所示，在第一突片51a，形成有连结销55所嵌合的嵌合孔51b。在第二突片52a，长孔52b沿着第二杆部52的轴线方向而被形成为长的。尚且，连结销55被固定于第二突片52a，且在第一突片51a形成长孔亦可。连结销55为被固定于第一杆部51与第二杆部52的一方的销之一例。长孔52b为被形成于第一杆部51与第二杆部52的另一方的长孔之一例。 [0042] 壳体4中，导引孔45贯穿设置在一对的宽面4b、4c之间。导引孔45沿着阀棒50的移动方向(图中的上下方向)被形成为长的。连结销55从嵌合孔51b的两端开口部突出。连结销55的一端贯穿第二杆部52的长孔52b而可滑动地被保持于导引孔45。连结销55的另一端可滑动地被保持于导引孔45。于是，第一杆部51与第二杆部52经由连结销55而可一边被导引朝轴方向一边朝图中的上下方向直线来回运动。 [0043] 如图7所示，在手动杠杆6在水平位置的情况下，链接销55被配置于长孔52b的中央附近。因此，在连结销55与长孔52b的上侧内侧面(长孔52b之与位于与阀部2相反侧的内侧面)之间，设置有间隙S1。又，在第二突片52a的顶端面、与第一杆部51之间，设置有间隙S2。于是，第一杆部51即使图中逆时钟方向的力作用于在水平位置的手动杠杆6，连结销55直到移动了间隙S1而抵接于长孔52b的上侧内侧面为止、不将手动杠杆6的旋转力传递至第二杆部52。又，第一杆部51即使图中朝下(阀部方向)的力作用于在起立位置的手动杠杆6，直到仅下降了间隙S2而抵接于第二杆部52为止、不将图中朝下的力传递至第二杆部52。如此，在被分割为第一杆部51与第二杆部52的阀棒50，设置有在手动杠杆6的操作开始时、追随手动杠杆6而不开关阀部2的裕度。间隙S1为第一间隙之一例。间隙S2为第二间隙之一例。 [0044] 如图7以及图9所示，手动杠杆6包括用于使阀棒50朝图中上下方向移动的凸轮机构64。具体而言，手动杠杆6包括用于配置阀棒50的上端部的收容空间部63。插穿第一杆部51的凸轮轴56以横切收容空间部63的方式被架设于手动杠杆6。 [0045] 在手动杠杆6，设置有第一凸轮面65与第二凸轮面66。第二凸轮面66为挡止部之一例。凸轮轴56被配置于使至第二凸轮面66为止的距离比至第一凸轮面65为止的距离更长的位置。因此，手动杠杆6若从图7中之第一凸轮面65抵接上面4a的水平位置，朝图9中之第二凸轮面66抵接上面4a的起立位置旋转的话，阀棒50可抵抗弹簧9的偏压力而被拉起。 [0046] 如图7所示，第一凸轮面65与第二凸轮面66所形成的角度θ小于90°。更佳的是，角度θ在75°以上85°以下的范围较佳。若角度θ比75°更小的话，手动杠杆6在开阀时过于倾倒，使得关阀时的操作性变差。若角度θ超过85°的话，手动杠杆6对于上面4a被配置为大致直角，在连接设置肘节型手动阀1的情况下难以进行关阀时的操作。手动杠杆6若第二凸轮面66如图9所示般旋转至抵接上面4a的位置为止的话，可使顶端部61移动至越过阀棒50的上端部的位置为止。 [0047] 如图10所示，在肘节型手动阀1中，第一安装孔部43与第二安装孔部44在壳体4的上面4a上被打开设置为圆柱状。第一安装孔部43与第二安装孔部44为用于安装锁轴构件8的孔。第一安装孔部43与第二安装孔部44包夹阀棒50(第一杆部51)而被形成在对称位置。锁轴构件8例如，在被嵌入于第一安装孔部43的状态下使固定销81贯穿壳体4与锁轴构件8，而被固定于壳体4。锁轴构件8的固定方法并不限定于固定销81，为压入、黏接、焊接等亦可。 [0048] 被连结于手动杠杆6的第一杆部51借由剖面是圆形状的圆棒构成。因此，如图中实线所示之朝壳体4的侧面4d侧倾倒的手动杠杆6，如果拆下凸轮轴56的话，以朝相反侧(壳体4的侧面4e侧)倾倒的方式反转重新被安装于第一杆部51，而可变更肘节型手动阀1的规格。在这种情况下，肘节型手动阀1不变更手动杠杆6以外的配置。 [0049] 接着，针对上述肘节型手动阀1的动作进行说明。如图1所示，在被安装挂锁10的肘节型手动阀1进行开阀动作的情况下，挂锁10从锁轴构件8移除。 [0050] 若在如图7所示的水平位置的手动杠杆6朝图中逆时钟方向旋转的话，如图9所示，对应手动杠杆6的旋转而抵抗弹簧9而将阀棒50朝上方拉起。手动杠杆6借由插穿孔62而可不干涉锁轴构件8地转动。由于阀棒50不经由加压构件53加压隔膜31，所以隔膜31借由自身的弹性力或流体的压力而自阀座25远离。借此，第一流路22与第二流路23之间被解放，流体流通。 [0051] 如图9所示，手动杠杆6若使第二凸轮面66转动至抵接壳体4的上面4a的位置为止的话，会变得不能再进一步旋转。在这种情况下，手动杠杆6被配置于顶端部61越过第一杆部51的位置，且借由对于壳体4的上面4a倾斜的姿势，维持开阀状态。作业员从手动杠杆6的姿势，可视觉辨认到肘节型手动阀1为开阀状态。 [0052] 又，肘节型手动阀1例如，即使作业员的手碰到在起立位置的手动杠杆6，手动杠杆6借由第二凸轮面66而不旋转。又，例如，即使在图中朝下的力作用于在起立位置的手动杠杆6，手动杠杆6使第二凸轮面66抵接壳体4的上面4a而不会动。于是，即使在开阀中外力作用于手动杠杆6，阀棒50也不会动，且可维持开阀状态。 [0053] 在肘节型手动阀1进行关阀动作的情况下，手动杠杆6从如图9所示的起立位置朝图中顺时钟方向旋转，借由凸轮机构64将第一杆部51朝阀部2侧下推。第一杆部51使连结销55一边在长孔52b内移动一边下降，且经由连结销55降低将第二杆部52拉起的力。也就是说，手动杠杆6降低了将阀棒50拉起的力。如图6所示，第二杆部52被弹簧9偏压而下降，且经由加压构件53而使隔膜31朝阀座25推抵而密封。借此，第一流路22与第二流路23之间被封闭，流体不流通。 [0054] 如图7所示，肘节型手动阀1在关阀状态时，在第一杆部51与第二杆部52之间形成有间隙S2。又，链接销55被配置于长孔52b的中央附近。于是，肘节型手动阀1在使手动杠杆6在水平位置的情况下，借由间隙S2，对于第二杆部52不施加弹簧9的偏压力以外的外力。也就是，可避免阀座25被隔膜31过度地推抵而损坏。 [0055] 从在水平位置的手动杠杆6突出之锁轴构件8的顶端部，设置有锁装配孔8a。钥匙装配孔8a为安装孔之一例。如图1所示，挂锁10被装配于锁装配孔8a，且被上锁。借此，肘节型手动阀1由于借由被安装于锁装配孔8a的挂锁10而限制手动杠杆6之逆时钟转的旋转，所以可避免误将手动杠杆6逆时钟转地旋转而开阀。 [0056] 顺带一提，在本实施例的肘节型手动阀1中，如图7所示，被连结于手动杠杆6的阀棒50被分割成第一杆部51与第二杆部52。然后，嵌合于第一杆部51的连结销55可滑动地插穿第二杆部52的长孔52b，且在连结销55与长孔52b的上侧内侧面之间形成间隙S1。例如，肘节型手动阀1的手动杠杆6在转动至水平位置为止而将阀部2关阀之后，有着作业员的手碰到等起立方向的力作用的情形。在这种情况下，经由凸轮轴56而被连接于手动杠杆6的第一杆部51追随手动杠杆6的转动而朝上方移动。但是，第二杆部52直到连结销55抵接长孔52b的上侧内侧面为止不会动。于是，肘节型手动阀1即使外力作用于在水平位置的手动杠杆6，也可维持关阀状态，且可抑制作业员无意图之流体的泄漏。 [0057] 在上述肘节型手动阀1中，借由在使一对的宽面抵接的状态下对于未图示的基座板固定流路块21的安装部27，可构成小型化的阀单元。例如如图11所示，以手动杠杆6A、6B、6C、6D朝同一方向倾倒而配置于水平位置的方式，连接设置第一至第四肘节型手动阀1A、 1B、1C、1D而构成阀单元101。第一至第四肘节型手动阀1A、1B、1C、1D成为宽度尺寸W1为10mm的薄型形状，且手动杠杆6A、6B、6C、6D的宽度尺寸也为10mm。一般来说，作业员的手指F的宽度较多为10mm以上。因此，在作业员在第三肘节型手动阀1C的手动杠杆6C将手指F从下方碰而使手动杠杆6C从水平位置移动至起立位置为止的情况下，有着手指F碰到相邻的手动杠杆6B、6D而一起从水平位置朝起立方向转动之虞。 [0058] 因此，在本实施例中，如图12所示，以位于水平位置的手动杠杆6A、6B、6C、6D顶端部朝向彼此不同地相反朝向的方式，连接设置第一至第四肘节型手动阀1A、1B、1C、1D而构成阀单元102。 [0059] 具体而言，如图13所示，第一肘节型手动阀1A与第三肘节型手动阀1C分别地将锁轴构件8A、8C安装于第一安装孔部43A、43C，且将手动杠杆6A、6C以朝第一安装孔部43A、43C侧倾倒而旋转至水平位置为止的方式链接于阀棒50A、50C的第一杆部51A、51C。又，第二肘节型手动阀1B与第四肘节型手动阀1D分别地将锁轴构件8B、8D安装于第二安装孔部44B、44D，且将手动杠杆6B、6D以朝第二安装孔部44B、44D侧倾倒而旋转至水平位置为止的方式链接于阀棒50B、50D的第一杆部51B、51D。 [0060] 第一至第四肘节型手动阀1A、1B、1C、1D除了手动杠杆6A、6B、6C、6D朝向是反转的之外，其他的构成相同。也就是，如图12以及图13所示的阀单元102被构成为流路与图11所示的阀单元10同样。于是，第一至第四肘节型手动阀1A、1B、1C、1D可以配合运用仅改变手动杠杆6A、6B、6C、6D的朝向，方便使用。 [0061] 在如此的阀单元102中，如图14所示，在作业员在第三肘节型手动阀1C的手动杠杆6C将手指F从下方碰而使手动杠杆6C从水平位置移动至起立位置为止的情况下，相邻的手动杠杆6B、6D朝相反的朝向倾倒。因此，碰到手动杠杆6C的手指F不碰到相邻的手动杠杆6B、 6D，作业员可仅操作手动杠杆6C。 [0062] 又，如图13所示，使第一至第四肘节型手动阀1A、1B、1C、1D全部为开阀状态。在这种情况下，手动杠杆6A、6B、6C、6D分别越过阀棒50A、50B、50C、50D而转动，且以倾斜姿势起立于壳体4的上面4a。借此，在起立位置的手动杠杆6A、6B、6C、6D顶端部被配置为彼此不同地偏移。在起立位置的手动杠杆6A、6B、6C、6D分别借由使第二凸轮面66抵接于壳体4的上面4a，而使进一步朝起立方向的旋转被限制。于是，例如，当将第三肘节型手动阀1C之在起立位置的手动杠杆6C朝第一安装孔部43C侧倾倒而关阀的时候，即使手指F碰到相邻的起立的手动杠杆6B、6D，由于手动杠杆6B、6D的转动被限制，所以可借由仅操作手动杠杆6C而将第三肘节型手动阀1C关阀。 [0063] 此外，如图15所示，在第一至第四肘节型手动阀1A、1B、1C、1D的手动杠杆6A、6B、6C、6D借由挂锁10A、10B、10C、10D而锁固的情况下，挂锁10A、10B、10C、10D可横向载置于手动杠杆6A、6B、6C、6D上。然后，由于挂锁10A、10B、10C、10D的U字型的锁杆彼此不同摆向，所以作业员例如，用手指F勾住锁杆而拉，或者将锁杆推入挂锁10A、10B、10C、10D，使上锁开锁的作业变得容易。 [0064] 如以上所说明的，本实施例的肘节型手动阀1只要连结销55在可在长孔52b内移动的范围的话，被连结于手动杠杆6的第一杆部51被容许对于第二杆部52相对地移动。借此，例如，即使在关阀中作业员的手碰到手动杠杆6等、而外力作用于手动杠杆6，也只有第一杆部51追随手动杠杆6而移动，而第二杆部52不会移动。于是，肘节型手动阀1可抑制违反作业员的意图之泄漏。 [0065] 又，本实施例的阀单元102在连接设置四个肘节型手动阀1A、1B、1C、1D的情况下，由于手动杠杆6A、6B、6C、6D的摆向是彼此不同的，所以相较于例如如图11所示之配置为相同摆向之手动杠杆6A、6B、6C、6D的配置间隔，相邻的手动杠杆6A、6C以及相邻的手动杠杆6B、6D的配置间隔变宽。因此，当作业员操作某个手动杠杆6C的时候，容易避免相邻的手动杠杆6B、6D错误地一起动作。又，各肘节型手动阀1A、1B、1C、1D、1E即使外力作用于手动杠杆 6A、6B、6C、6D也难以产生违反作业员的意图的泄漏。因此，依据具有上述构成的阀单元102，可以抑制违反作业员的意图的泄漏从肘节型手动阀1A、1B、1C、1D发生。 [0066] (第二实施例)针对肘节型手动阀另外的实施例基于图面进行说明。图16为第二实施例的肘节型手动阀301的局部放大剖面图。图16表示关阀状态。图17为说明第一杆部351与第二杆部352的连结构造的图。 [0067] 本实施例的肘节型手动阀301在将第二杆部352的板状突片352a配置于第一杆部351的一对的突部351c、351d之间的状态下，连结第一杆部351与第二杆部352。肘节型手动阀301在这点上，与连结剖面是半圆形的第一突片51a与第二突片52a的第一实施例相异，在其他点上与第一实施例共通。在此，在本实施例中，以与第一实施例相异的构成为中心进行说明，针对与第一实施例共通的构成在说明及图面中使用与第一实施例相同的符号，且适当省略说明。 [0068] 肘节型手动阀301的第一杆部351以及第二杆部352除了一对的突部351c、351d与板状突片352a以外，与第一实施例的第一杆部51以及第二杆部52同样地被构成。 [0069] 一对的突部351c、351d在位于第一杆部351之第二杆部352侧的端部，也就是说，在位于第一杆部351之阀部2侧的端部(第一端部之一例)，被设置为朝阀部2侧(第二杆部352侧)突出。第一杆部351狭缝351e被设置于一对的突部351c、351d之间。第一杆部351一对的突部351c、351d被设置为包夹第一杆部351的轴线而对称，狭缝351e被设置于第一杆部351的轴在线。 [0070] 板状突片352a在位于第一杆部351侧的端部，也就是说，在位于与阀部2为相反侧的端部(第二端部之一例)，被设置朝与阀部2为相反侧(第一杆部351侧)突出。板状突片352a被设置于第二杆部352的轴在线。板状突片352a沿着第二杆部352的径长方向被设置为板状。板状突片352a具有可滑动插入于一对的突部351c、351d之间，也就是说，可滑动插入于狭缝351e的厚度。 [0071] 如此，第一杆部351与第二杆部352在对接的端部形成为凹凸状。第一杆部351与第二杆部352在第一中空孔部4g的区域中，在将第二杆部352的板状突片352a插入于一对的突部351c、351d之间，也就是说插入于狭缝351e的状态下，借由将一对的突部351c、351d与板状突片352a凹凸卡合，而被配置于同轴上。 [0072] 在板状突片352a，形成有长孔52b。长孔52b对于板状突片352a沿着第二杆部352的轴线方向延伸而被形成为长的。一对的突部351c、351d在对应于长孔52b的位置，形成有嵌合孔51b。嵌合孔51b沿着对于第一杆部351的轴线正交的方向而形成于一对的突部351c、351d。连结销55被压入而嵌合于一对的突部351c、351d的嵌合孔51b，且被配置为可滑动地于板状突片352a的长孔52b。连结销55被固定于在板状突片352a两侧的一对的突部351c、 351d。 [0073] 如图16所示，肘节型手动阀301在手动杠杆6被配置于水平位置、阀部2为关阀状态的情况下，在连结销55、与长孔52b之位于与阀部2为相反侧的内侧面之间，形成间隙S1。又，肘节型手动阀301在阀部2为关阀状态的情况下，在第二杆部352的顶端部、与狭缝351e的底部351f之间，形成间隙S2。于是，肘节型手动阀301借由以间隙S1形成的裕度，可防止借由误操作之流体泄漏。又，肘节型手动阀301借由以间隙S2形成的裕度，在关阀时可抑制弹簧9以外的外力作用于阀座25，且可防止阀部2的损坏。 [0074] 肘节型手动阀301由于可在收容阀棒350的第一中空孔部4g内连结第一杆部351与第二杆部352，所以可使阀尺寸小型化。又，肘节型手动阀301由于连结销55被固定于被配置于板状突片352a两侧的一对的突部351c、351d，所以，例如，在第一杆部351经由连结销55而将第二杆部352朝阀部2的相反侧拉而开启阀的时候，负载几乎均匀地作用于连结销55。因此，即使在反复进行阀的开关的情况下，连结销55也难以从第一杆部351脱落。 [0075] 尚须注意的是，本说明书中所揭露的技术并不限定于上述实施例，可有着各种的应用。例如，肘节型手动阀1被使用于半导体制造装置之外的装置亦可。 [0076] 又，如图18所示的肘节型手动阀201A般，在壳体4A可直线来回运动地配置未分割的一根阀棒150亦可。但是，如上述实施例的肘节型手动阀1般，借由使用分割的阀棒50，及使第一杆部51对应手动杠杆6的转动而朝轴方向移动，此动作可不传递至第二杆部52。借此，即使借由手动杠杆6的误操作而使第一杆部51朝与阀部2相反的朝向移动，第二杆部52也不会动且可维持关阀状态。 [0077] 又，手动杠杆6对于壳体4的上面4a借由垂直姿势起立亦可。但是，手动杠杆6借由顶端部61越过阀棒50而朝起立方向旋转的姿势起立、且借由第二凸轮面66限制进一步的转动，如图13所示，在连接设置复数个肘节型手动阀1而构成阀单元102的时候，即使作业员在将某个起立的手动杠杆6C朝水平方向转动的情况下接触相邻的手动杠杆6B、6D，相邻的手动杠杆6B、6D也不会进一步旋转。如此，由于只有操作对象的肘节型手动阀1C被关阀，非操作对象的肘节型手动阀1B、1D不被关阀，误操作被抑制。 [0078] 第一杆部51将手动杠杆6连结的部分作为圆柱形状，将其他的部分作为圆棒以外的形状亦可。但是，借由将第一杆部51整体作为圆棒形状，第一杆部51的安装作业性、或第一杆部51或壳体4的制造性可变得更好。符号说明 1:肘节型手动阀 2:阀部 4:壳体 6:手动杠杆 9:弹簧 50:阀棒 51:第一杆部 52:第二杆部 55:连结销 52b:长孔