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一种门阀及真空设备
申请号	CN202210917577.3	申请日	2022-08-01	公开(公告)号	CN115199773A	公开(公告)日	2022-10-18
申请人	苏州迈为科技股份有限公司; 苏州迈正科技有限公司;			发明人	李王俊; 张斌; 王凤明; 房现飞; 刘亚南;
摘要	本发明涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种门阀及真空设备。该门阀用于密封腔体的开口，主要包括阀板、第一驱动装置和电磁吸盘。其中，阀板连接有第一驱动装置，第一驱动装置被配置为驱动阀板沿第一方向进行升降运动。电磁吸盘设置在腔体或阀板中的一者上，电磁吸盘在通电时，阀板沿第二方向运动并吸附在腔体的开口处，第一方向和第二方向互相垂直。真空设备包括腔体和以上门阀。该门阀结构简单，易于加工制造，门阀结构小型化，节约安装的空间，进而达到节约真空设备成本的目的。
权利要求	1.一种门阀，用于密封腔体(100)的开口(110)，其特征在于，所述门阀包括：阀板(200)，所述阀板(200)连接有第一驱动装置(300)，所述第一驱动装置(300)被配置为驱动所述阀板(200)沿第一方向移动，以使所述阀板(200)与所述开口(110)正对；电磁吸盘(400)，所述电磁吸盘(400)设置在所述腔体(100)或所述阀板(200)中的一者上，所述电磁吸盘(400)在通电时能吸附所述腔体(100)或所述阀板(200)中的另一个，以使所述阀板(200)沿第二方向运动至与所述腔体(100)抵接，以密封所述开口(110)，所述第一方向和所述第二方向互相垂直。 2.根据权利要求1所述的门阀，其特征在于，所述第一驱动装置(300)为气缸、电动推杆、液压缸中的一种。 3.根据权利要求1所述的门阀，其特征在于，所述电磁吸盘(400)设置在所述腔体(100)或所述阀板(200)中的一者上，所述腔体(100)和所述阀板(200)中的另一者由铁磁性材料制成。 4.根据权利要求1所述的门阀，其特征在于，所述电磁吸盘(400)设置在所述腔体(100)或所述阀板(200)中的一者上，所述腔体(100)和所述阀板(200)中的另一者设置有吸附块(240)，所述吸附块(240)由铁磁性材料制成，且所述吸附块(240)与所述电磁吸盘(400)对应设置。 5.根据权利要求1所述的门阀，其特征在于，所述阀板(200)靠近所述开口(110)的一侧设置有密封圈(210)，所述密封圈(210)能与所述腔体(100)抵接并围设在所述开口(110)的外侧。 6.根据权利要求5所述的门阀，其特征在于，所述电磁吸盘(400)未通电时，所述密封圈(210)沿第二方向与所述腔体(100)的外壁之间设置有间隙。 7.根据权利要求1所述的门阀，其特征在于，所述阀板(200)上凸设有连接部(220)，所述连接部(220)连接于所述第一驱动装置(300)。 8.根据权利要求1所述的门阀，其特征在于，所述门阀包括阀座(500)，所述阀座(500)内设置有空腔，所述空腔连通至少一个所述腔体(100)，所述阀板(200)设置在所述空腔内，所述阀板(200)能够密封其中一个所述腔体(100)的所述开口(110)。 9.一种真空设备，其特征在于，所述真空设备包括腔体(100)和门阀，所述门阀为权利要求1‑8中任一项所述的门阀。 10.根据权利要求9所述的真空设备，其特征在于，所述真空设备还包括设置于所述腔体(100)上的导轨(120)以及与所述导轨(120)滑动连接的连接块(130)，所述阀板(200)能随所述连接块(130)沿所述导轨(120)滑动，且能相对所述连接块(130)沿第二方向移动。 11.根据权利要求10所述的真空设备，其特征在于，所述真空设备还包括弹性固定板(140)，所述阀板(200)上设置有避让部(230)，所述弹性固定板(140)的一端与所述连接块(130)连接，所述弹性固定板(140)的另一端连接于所述阀板(200)。 12.根据权利要求11所述的真空设备，其特征在于，所述弹性固定板(140)包括第一固定部(1401)、第二固定部(1402)以及弧形凸起部(1403)，所述弧形凸起部(1403)连接在所述第一固定部(1401)和所述第二固定部(1402)之间，所述第一固定部(1401)与所述连接块(130)连接，所述第二固定部(1402)与所述阀板(200)连接。
说明书全文	一种门阀及真空设备技术领域 [0001] 本发明涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种门阀及真空设备。背景技术 [0002] 真空设备在工业上应用较为广泛，主要由传输模块和工艺模块组成。传输模块负责将需要加工的半成品运输至工艺腔室内，然后由工艺腔室内的工艺模块对其进行加工，最后得到所需要的产品。其中，门阀是连接或隔离传输模块和工艺模块的重要部件，为了确保产品的加工质量，往往需要门阀具备良好的密封性能，使得工艺腔室内保持一定的真空度。 [0003] 现有技术中的门阀通常采用气缸驱动门阀实现对工艺腔室进行密封，当所密封的工艺腔室的体积增大时，通常是通过增加气缸的数量实现对大体积大尺寸的工艺腔室的密封。即现有的门阀的关闭和打开步骤是先通过一组气缸的升降，再通过另一组气缸施加预压紧力来保证密封，当阀门较大时，需要的预压紧力也会变大，因此需要更多的气缸来完成，这样会增加门阀结构的复杂度，使得真空设备变得庞大而复杂，增加占地面积，增加制造成本。 [0004] 因此，亟需设计一种门阀及真空设备来解决以上技术问题。发明内容 [0005] 本发明的第一目的在于提出一种门阀，该门阀结构简单，操作便捷，降低门阀的制造成本。 [0006] 为达此目的，本发明采用以下技术方案： [0007] 本发明提供一种门阀，用于密封腔体的开口，所述门阀包括： [0008] 阀板，所述阀板连接有第一驱动装置，所述第一驱动装置被配置为驱动所述阀板沿第一方向移动，以使所述阀板与所述开口正对； [0009] 电磁吸盘，所述电磁吸盘设置在所述腔体或所述阀板中的一者上，所述电磁吸盘在通电时能吸附所述腔体或所述阀板中的另一个，以使所述阀板沿第二方向运动至与所述腔体抵接，以密封所述开口，所述第一方向和所述第二方向互相垂直。 [0010] 作为一种门阀的可选技术方案，所述第一驱动装置为气缸、电动推杆、液压缸中的一种。 [0011] 作为一种门阀的可选技术方案，所述电磁吸盘设置在所述腔体或所述阀板中的一者上，所述腔体和所述阀板中的另一者由铁磁性材料制成。 [0012] 作为一种门阀的可选技术方案，所述电磁吸盘设置在所述腔体或所述阀板中的一者上，所述腔体和所述阀板中的另一者设置有吸附块，所述吸附块由铁磁性材料制成，且所述吸附块与所述电磁吸盘对应设置。 [0013] 作为一种门阀的可选技术方案，所述阀板靠近所述开口的一侧设置有密封圈，所述密封圈能与所述腔体抵接并围设在所述开口的外侧。 [0014] 作为一种门阀的可选技术方案，所述电磁吸盘未通电时，所述密封圈沿第二方向与所述腔体的外壁之间设置有间隙。 [0015] 作为一种门阀的可选技术方案，所述阀板上凸设有连接部，所述连接部连接于所述第一驱动装置。 [0016] 作为一种门阀的可选技术方案，所述门阀包括阀座，所述阀座内设置有空腔，所述空腔连通至少一个所述腔体，所述阀板设置在所述空腔内，所述阀板能够密封其中一个所述腔体的所述开口。 [0017] 本发明的第二目的在于提出一种真空设备，该真空设备结构简单、紧凑，设备小型化，减少真空设备安装时所需空间，提高安装效率，进而节约成本。 [0018] 为达此目的，本发明采用以下技术方案： [0019] 本发明提供一种真空设备，所述真空设备包括腔体和门阀，所述门阀为以上任意技术方案中所述的门阀。 [0020] 作为一种真空设备的可选技术方案，所述真空设备还包括设置于所述腔体上的导轨以及与所述导轨滑动连接的连接块，所述阀板能随所述连接块沿所述导轨滑动，且能相对所述连接块沿第二方向移动。 [0021] 作为一种真空设备的可选技术方案，所述真空设备还包括弹性固定板，所述阀板上设置有避让部，所述弹性固定板的一端与所述连接块连接，所述弹性固定板的另一端连接于所述阀板。 [0022] 作为一种真空设备的可选技术方案，所述弹性固定板包括第一固定部、第二固定部以及弧形凸起部，所述弧形凸起部连接在所述第一固定部和所述第二固定部之间，所述第一固定部与所述连接块连接，所述第二固定部与所述阀板连接。 [0023] 本发明的有益效果至少包括： [0024] 本发明提供一种门阀，其结构简单，通过第一驱动装置和电磁吸盘的设置，进而实现门阀密封腔体的开口。该门阀无需使用传统技术中的多个气缸等零部件，使得门阀结构简单，易于加工制造，门阀结构小型化，节约安装的空间，达到节约成本的目的。 [0025] 本发明还提供一种真空设备，真空设备包括腔体和上述门阀，该真空设备结构简单、紧凑，设备小型化，减少真空设备安装时所需空间，提高安装效率，进而节约成本。附图说明 [0026] 为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。 [0027] 图1为本发明实施例一所提供的真空设备的结构示意图； [0028] 图2为图1中A处的局部放大图； [0029] 图3为本发明实施例一所提供的真空设备的剖视图； [0030] 图4为图3中B处的局部放大图； [0031] 图5为本发明实施例二所提供的门阀的结构示意图； [0032] 图6为本发明实施例三所提供的门阀的结构示意图； [0033] 图7为本发明实施例四所提供的门阀与腔体的结构示意图。 [0034] 附图标记 [0035] 100、腔体；110、开口；120、导轨；130、连接块；140、弹性固定板；1401、第一固定部；1402、第二固定部；1403、弧形凸起部； [0036] 200、阀板；210、密封圈；220、连接部；230、避让部；240、吸附块； [0037] 300、第一驱动装置； [0038] 400、电磁吸盘；500、阀座；600、支架；610、横梁。具体实施方式 [0039] 为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。 [0040] 在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。 [0041] 在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。 [0042] 在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。 [0043] 实施例一 [0044] 如图1‑图4所示，本实施例提供一种门阀，该门阀用于密封腔体100的开口110，主要包括阀板200、第一驱动装置300和电磁吸盘400。其中，阀板200连接有第一驱动装置300，第一驱动装置300被配置为驱动阀板200沿第一方向进行升降运动。电磁吸盘400设置在腔体100或阀板200中的一者上，电磁吸盘400在通电时，阀板200沿第二方向运动并吸附在腔体100的开口110处。需要指出的是，本实施例中的第一方向为图4中的Y轴方向，即门阀的高度方向；第二方向为图4中的X轴方向，即指向腔体100的开口110方向，本实施例中的第一方向和第二方向互相垂直。 [0045] 基于以上设计，本实施例以电磁吸盘400设置在阀板200上为例进行阐述，在工作时，第一驱动装置300驱动阀板200沿第一方向升起，阀板200被提升一定的高度，使得阀板200正对腔体100的开口110处。需要强调的是，在上升的过程中阀板200与开口110保持一定的间隙，进而避免阀板200与腔体100发生摩擦，提高阀板200运动的灵活性。然后电磁吸盘 400通电，使得电磁吸盘400内部的磁体产生磁性吸力，此时电磁吸盘400能够带动阀板200沿第二方向运动，进而使得阀板200吸附在腔体100的开口110处，形成对开口110的密封。 [0046] 示例性地，本实施例中的电磁吸盘400可以设置为多个，例如可以设置4个、6个、8个等数量的电磁吸盘400。作业人员能够根据实际需求，灵活设计电磁吸盘400的位置，进而使得在电磁吸盘400的吸附力的作用下，阀板200受力更加均匀稳定。 [0047] 为了提高阀板200对腔体100开口110处的密封效果，在本实施例中，阀板200靠近开口110的一侧设置有密封圈210，密封圈210被配置为密封开口110；密封圈210与开口110均为圆形，密封圈210的直径大于开口110的直径，这样能够提高密封圈210对开口110密封的可靠性，同时密封圈210采用柔性的硅胶材质制成，进而能够减少阀板200与腔体100的刚性接触，进一步地提高密封效果。当然，作业人员能根据实际情况，将密封圈210和开口110设置为其他形状，例如设置为方形、椭圆形、多边形中的一种，此处不再一一赘述。需要指出的是，电磁吸盘400未通电时，密封圈210沿第二方向与腔体100的外壁之间设置有间隙。 [0048] 在本实施例中，第一驱动装置300为气缸、电动推杆、液压缸中的一种。阀板200上凸设有连接部220，连接部220连接于第一驱动装置300。具体地，气缸、电动推杆或者液压缸的输出端连接于连接部220上，进而使得第一驱动装置300能够通过驱动连接部220实现阀板200的升降运动。连接部220的设置能够有利于提高第一驱动装置300驱动阀板200的灵活性和便捷性，进而提高工作效率。 [0049] 与现有技术相比，本实施例提供的门阀，其结构简单，通过第一驱动装置300和电磁吸盘400的设置，进而实现门阀密封腔体100的开口110。该门阀无需使用传统技术中的多个气缸等零部件，使得门阀结构简单，易于加工制造，门阀结构小型化，节约安装的空间，达到节约成本的目的。 [0050] 本实施例中，电磁吸盘400设置在腔体100或阀板200中的一者上，腔体100和阀板200中的另一者由铁磁性材料制成。例如可以采用金属铁制成。进而使得电磁吸盘400能够对腔体100或者阀板200进行吸附，提高阀板200对腔体100开口110的密封性；同时，也能够提高腔体100和阀板200的机械强度，进而延长门阀的使用寿命。因为电磁吸盘400不仅能够对铁有良好的吸附作用，还对金属钴和金属镍也有一定的吸附性。因此，作业人员还可以采用其他金属钴或者金属镍的材质加工制成腔体100或者阀板200，进而提高电磁吸盘400吸附作用。 [0051] 如图1‑图2所示，本实施例还提供一种真空设备，该真空设备包括腔体100和门阀，门阀为以上技术方案中的门阀，腔体100上设置有导轨120，门阀与导轨120滑动连接。可选地，本实施例中导轨120设置为两条，且两条导轨120分别设置在开口110的两侧，导轨120的设置能够有利于阀板200的升降运动，进而提高阀板200的工作效率。 [0052] 进一步地，真空设备还包括连接块130，连接块130的一端滑动连接于导轨120，连接块130的另一端与阀板200固接。可选地，连接块130设置为两个，且两个连接块130分别位于阀板200的端部处，连接块130的设置提高阀板200与导轨120连接可靠性和灵活性。 [0053] 更进一步地，真空设备还包括弹性固定板140，阀板200上设置有避让部230，所述避让部230可以是位于阀板200上凹槽结构，从而以便于弹性固定板140安装。弹性固定板140的一端与连接块130连接，弹性固定板140的另一端设置在避让部230内，并连接于阀板 200。作业人员通过螺栓、螺钉或者铆钉等紧固件将弹性固定板140一端固定在连接块130上，另一端固定在阀板200上，弹性固定板140可以采用具有弹性的硅胶材质、弹性的金属薄板或者弹性的工程塑料等材质制成，当电磁吸盘400吸附在腔体100时，弹性固定板140发生形变，进一步地提高阀板200对腔体100开口110的密封性。可选地，本实施例中的弹性固定板140设置为两个。 [0054] 具体地，本实施例中弹性固定板140包括第一固定部1401、第二固定部1402以及弧形凸起部1403，弧形凸起部1403连接在第一固定部1401和第二固定部1402之间，第一固定部1401与连接块130连接，第二固定部1402与阀板200连接。作业人员通过螺栓、螺钉或者铆钉等紧固件将第一固定部1401与连接块130连接，第二固定部1402与阀板200连接。弧形凸起部1403的设置有利于弹性固定板140的活动，即当电磁吸盘400吸附腔体100时，第二固定部1402连同阀板200一起朝向腔体100的方向运动，而第一固定部1401和连接块130保持相对静止状态，进而提高弹性固定板140的活动的可靠性和稳定性，提高该真空设备的密封性能。 [0055] 如图1所示，本实施例中的真空设备还包括支架600，腔体100设置在支架600上，使得腔体100能够被支架600架空至一定的高度，便于作业人员的操作作业。支架600上设置有横梁610，第一驱动装置300设置在横梁610上，进而当门阀在不密封腔体100的情况下，门阀也不会脱离横梁610，避免发生门阀丢失的现象，提高真空设备的整体性。 [0056] 作为一种可选的技术方案，本实施例中的腔体100上设置有第一限位机构(图中未示出)和第二限位机构(图中未示出)，且第一限位机构和第二限位机构分别相对地沿第一方向设置在阀板200的两侧，第一限位机构和第二限位机构的设置能够有利于阀板200可以在一定的区域进行升降运动，避免阀板200在升降运动的过程中出现滑脱导轨120的故障现象。示例性地，第一限位机构和第二限位机构可以分别设置为2个、4个、6个等数量，本实施例对此不作限定。示例性地，第一限位机构和第二限位机构可以均采用螺钉或者挡块的结构。 [0057] 当门阀无需对腔体100的开口110处进行密封时，此时断开电磁吸盘400的通电，电磁吸盘400失去磁性，进而使得阀板200能够在弹性固定板140的作用下回弹复位，此时弹性固定板140与腔体100的外壁保持一定的间隙，第一驱动装置300开始启动，使得第一驱动装置300带动阀板200在导轨120上实现下降运动，直至阀板200与触碰到第二限位机构时，第一驱动装置300停止驱动阀板200运动，此时阀板200将腔体100的开口110完全打开。 [0058] 本实施例中的真空设备结构简单、紧凑，设备小型化，减少真空设备安装时所需空间，提高安装效率，进而节约成本。 [0059] 实施例二 [0060] 如图5所示，本实施例提供一种门阀，其与实施例一的区别在于：本实施例中的电磁吸盘400设置在腔体100上，阀板200采用金属铝或不锈钢材质制成，且阀板200内设置有铁磁性材料制成的吸附块240，吸附块240与电磁吸盘400对应设置。在工作时，当电磁吸盘400通电后，电磁吸盘400能够对吸附块240进行吸附，进而使得阀板200与腔体100实现密封连接。吸附块240的数量与电磁吸盘400的数量保持一致，且吸附块240的安装位置正对电磁吸盘400，这样有利于提高电磁吸盘400对吸附块240的吸附性，进而提高阀板200与腔体100的密封性能。当然，吸附块240还可以采用金属钴或金属镍材质制成，此处不再一一赘述。 [0061] 本实施例的门阀的其余结构均与实施例一相同，此处不再一一赘述。 [0062] 如图1‑图2所示，本实施例还提供一种真空设备，该真空设备包括腔体100和门阀，门阀为以上技术方案中的门阀，腔体100上设置有导轨120，门阀与导轨120滑动连接。可选地，本实施例中导轨120设置为两条，且两条导轨120分别设置在开口110的两侧，导轨120的设置能够有利于阀板200的升降运动，进而提高阀板200的工作效率。 [0063] 进一步地，真空设备还包括连接块130，连接块130的一端滑动连接于导轨120，连接块130的另一端与阀板200固接。可选地，连接块130设置为两个，且两个连接块130分别位于阀板200的端部处，连接块130的设置提高阀板200与导轨120连接可靠性和灵活性。 [0064] 更进一步地，真空设备还包括弹性固定板140，阀板200上设置有避让部230，所述避让部230可以是位于阀板200上凹槽结构，从而以便于弹性固定板140安装。弹性固定板140的一端与连接块130连接，弹性固定板140的另一端设置在避让部230内，并连接于阀板 200。作业人员通过螺栓、螺钉或者铆钉等紧固件将弹性固定板140一端固定在连接块130上，另一端固定在阀板200上，弹性固定板140可以采用具有弹性的硅胶材质、弹性的金属薄板或者弹性的工程塑料等材质制成，当电磁吸盘400吸附在腔体100时，弹性固定板140发生形变，进一步地提高阀板200对腔体100开口110的密封性。可选地，本实施例中的弹性固定板140设置为两个。 [0065] 具体地，本实施例中弹性固定板140包括第一固定部1401、第二固定部1402以及弧形凸起部1403，弧形凸起部1403连接在第一固定部1401和第二固定部1402之间，第一固定部1401与连接块130连接，第二固定部1402与阀板200连接。作业人员通过螺栓、螺钉或者铆钉等紧固件将第一固定部1401与连接块130连接，第二固定部1402与阀板200连接。弧形凸起部1403的设置有利于弹性固定板140的活动，即当电磁吸盘400吸附腔体100时，第二固定部1402连同阀板200一起朝向腔体100的方向运动，而第一固定部1401和连接块130保持相对静止状态，进而提高弹性固定板140的活动的可靠性和稳定性，提高该真空设备的密封性能。 [0066] 如图1所示，本实施例中的真空设备还包括支架600，腔体100设置在支架600上，使得腔体100能够被支架600架空至一定的高度，便于作业人员的操作作业。支架600上设置有横梁610，第一驱动装置300设置在横梁610上，进而当门阀在不密封腔体100的情况下，门阀也不会脱离横梁610，避免发生门阀丢失的现象，提高真空设备的整体性。 [0067] 作为一种可选的技术方案，本实施例中的腔体100上设置有第一限位机构(图中未示出)和第二限位机构(图中未示出)，且第一限位机构和第二限位机构分别相对地沿第一方向设置在阀板200的两侧，第一限位机构和第二限位机构的设置能够有利于阀板200可以在一定的区域进行升降运动，避免阀板200在升降运动的过程中出现滑脱导轨120的故障现象。示例性地，第一限位机构和第二限位机构可以分别设置为2个、4个、6个等数量，本实施例对此不作限定。示例性地，第一限位机构和第二限位机构可以均采用螺钉或者挡块的结构。 [0068] 当门阀无需对腔体100的开口110处进行密封时，此时断开电磁吸盘400的通电，电磁吸盘400失去磁性，进而使得阀板200能够在弹性固定板140的作用下回弹复位，此时弹性固定板140与腔体100的外壁保持一定的间隙，第一驱动装置300开始启动，使得第一驱动装置300带动阀板200在导轨120上实现下降运动，直至阀板200与触碰到第二限位机构时，第一驱动装置300停止驱动阀板200运动，此时阀板200将腔体100的开口110完全打开。 [0069] 本实施例中的真空设备结构简单、紧凑，设备小型化，减少真空设备安装时所需空间，提高安装效率，进而节约成本。 [0070] 实施例三 [0071] 如图6所示，本实施例提供一种门阀，其与实施例一的区别在于：本实施例中的电磁吸盘400设置在阀板200上，腔体100采用金属铝或不锈钢材质制成，且腔体100内设置有铁磁性材料制成的吸附块240，吸附块240与电磁吸盘400对应设置。在工作时，当电磁吸盘400通电后，电磁吸盘400能够对吸附块240进行吸附，进而使得阀板200与腔体100实现密封连接。吸附块240的数量与电磁吸盘400的数量保持一致，且吸附块240的安装位置正对电磁吸盘400，这样有利于提高电磁吸盘400对吸附块240的吸附性，进而提高阀板200与腔体100的密封性能。当然，吸附块240还可以采用金属钴或金属镍材质制成，此处不再一一赘述。 [0072] 本实施例的门阀的其余结构均与实施例一相同，此处不再一一赘述。 [0073] 如图1‑图2所示，本实施例还提供一种真空设备，该真空设备包括腔体100和门阀，门阀为以上技术方案中的门阀，腔体100上设置有导轨120，门阀与导轨120滑动连接。可选地，本实施例中导轨120设置为两条，且两条导轨120分别设置在开口110的两侧，导轨120的设置能够有利于阀板200的升降运动，进而提高阀板200的工作效率。 [0074] 进一步地，真空设备还包括连接块130，连接块130的一端滑动连接于导轨120，连接块130的另一端与阀板200固接。可选地，连接块130设置为两个，且两个连接块130分别位于阀板200的端部处，连接块130的设置提高阀板200与导轨120连接可靠性和灵活性。 [0075] 更进一步地，真空设备还包括弹性固定板140，阀板200上设置有避让部230，所述避让部230可以是位于阀板200上凹槽结构，从而以便于弹性固定板140安装。弹性固定板140的一端与连接块130连接，弹性固定板140的另一端设置在避让部230内，并连接于阀板 200。作业人员通过螺栓、螺钉或者铆钉等紧固件将弹性固定板140一端固定在连接块130上，另一端固定在阀板200上，弹性固定板140可以采用具有弹性的硅胶材质、弹性的金属薄板或者弹性的工程塑料等材质制成，当电磁吸盘400吸附在腔体100时，弹性固定板140发生形变，进一步地提高阀板200对腔体100开口110的密封性。可选地，本实施例中的弹性固定板140设置为两个。 [0076] 具体地，本实施例中弹性固定板140包括第一固定部1401、第二固定部1402以及弧形凸起部1403，弧形凸起部1403连接在第一固定部1401和第二固定部1402之间，第一固定部1401与连接块130连接，第二固定部1402与阀板200连接。作业人员通过螺栓、螺钉或者铆钉等紧固件将第一固定部1401与连接块130连接，第二固定部1402与阀板200连接。弧形凸起部1403的设置有利于弹性固定板140的活动，即当电磁吸盘400吸附腔体100时，第二固定部1402连同阀板200一起朝向腔体100的方向运动，而第一固定部1401和连接块130保持相对静止状态，进而提高弹性固定板140的活动的可靠性和稳定性，提高该真空设备的密封性能。 [0077] 如图1所示，本实施例中的真空设备还包括支架600，腔体100设置在支架600上，使得腔体100能够被支架600架空至一定的高度，便于作业人员的操作作业。支架600上设置有横梁610，第一驱动装置300设置在横梁610上，进而当门阀在不密封腔体100的情况下，门阀也不会脱离横梁610，避免发生门阀丢失的现象，提高真空设备的整体性。 [0078] 作为一种可选的技术方案，本实施例中的腔体100上设置有第一限位机构(图中未示出)和第二限位机构(图中未示出)，且第一限位机构和第二限位机构分别相对地沿第一方向设置在阀板200的两侧，第一限位机构和第二限位机构的设置能够有利于阀板200可以在一定的区域进行升降运动，避免阀板200在升降运动的过程中出现滑脱导轨120的故障现象。示例性地，第一限位机构和第二限位机构可以分别设置为2个、4个、6个等数量，本实施例对此不作限定。示例性地，第一限位机构和第二限位机构可以均采用螺钉或者挡块的结构。 [0079] 当门阀无需对腔体100的开口110处进行密封时，此时断开电磁吸盘400的通电，电磁吸盘400失去磁性，进而使得阀板200能够在弹性固定板140的作用下回弹复位，此时弹性固定板140与腔体100的外壁保持一定的间隙，第一驱动装置300开始启动，使得第一驱动装置300带动阀板200在导轨120上实现下降运动，直至阀板200与触碰到第二限位机构时，第一驱动装置300停止驱动阀板200运动，此时阀板200将腔体100的开口110完全打开。 [0080] 本实施例中的真空设备结构简单、紧凑，设备小型化，减少真空设备安装时所需空间，提高安装效率，进而节约成本。 [0081] 实施例四： [0082] 如图7所示，本实施例提供一种门阀，其与实施例一的区别在于：本实施例中的门阀包括阀座500，阀座500内设置有空腔，空腔连通至少一个腔体100阀板200设置在空腔内，阀板200能够密封其中一个腔体100的开口110。 [0083] 示例性地，本实施例中腔体100设置为两个，阀座500连通并设置在两个腔体100之间，当需要对其中一个腔体100进行密封时，第一驱动装置300能够驱动阀板200实现升降，然后电磁吸盘400通电后，使得阀板200吸附在腔体100的开口110处，进而实现对其中一个腔体100的密封，此时另一个腔体100中的气体无法进入到上一个腔体100中；当需要两个腔体100连通时，阀板200断开与其中一个腔体100的密封即可。也就是说，通过本实施例中的门阀的设置，能够根据实际需求可以实现了两个腔体100的连通和断开，提高门阀的灵活适用性。 [0084] 本实施例的门阀的其余结构均与实施例一相同，此处不再一一赘述。 [0085] 如图1‑图2所示，本实施例还提供一种真空设备，该真空设备包括腔体100和门阀，门阀为以上技术方案中的门阀，腔体100上设置有导轨120，门阀与导轨120滑动连接。可选地，本实施例中导轨120设置为两条，且两条导轨120分别设置在开口110的两侧，导轨120的设置能够有利于阀板200的升降运动，进而提高阀板200的工作效率。 [0086] 进一步地，真空设备还包括连接块130，连接块130的一端滑动连接于导轨120，连接块130的另一端与阀板200固接。可选地，连接块130设置为两个，且两个连接块130分别位于阀板200的端部处，连接块130的设置提高阀板200与导轨120连接可靠性和灵活性。 [0087] 更进一步地，真空设备还包括弹性固定板140，阀板200上设置有避让部230，所述避让部230可以是位于阀板200上凹槽结构，从而以便于弹性固定板140安装。弹性固定板140的一端与连接块130连接，弹性固定板140的另一端设置在避让部230内，并连接于阀板 200。作业人员通过螺栓、螺钉或者铆钉等紧固件将弹性固定板140一端固定在连接块130上，另一端固定在阀板200上，弹性固定板140采用可以采用具有弹性的硅胶材质、弹性的金属薄板或者弹性的工程塑料等材质制成，当电磁吸盘400吸附在腔体100时，弹性固定板140发生形变，进一步地提高阀板200对腔体100开口110的密封性。可选地，本实施例中的弹性固定板140设置为两个。 [0088] 具体地，本实施例中弹性固定板140包括第一固定部1401、第二固定部1402以及弧形凸起部1403，弧形凸起部1403连接在第一固定部1401和第二固定部1402之间，第一固定部1401与连接块130连接，第二固定部1402与阀板200连接。作业人员通过螺栓、螺钉或者铆钉等紧固件将第一固定部1401与连接块130连接，第二固定部1402与阀板200连接。弧形凸起部1403的设置有利于弹性固定板140的活动，即当电磁吸盘400吸附腔体100时，第二固定部1402连同阀板200一起朝向腔体100的方向运动，而第一固定部1401和连接块130保持相对静止状态，进而提高弹性固定板140的活动的可靠性和稳定性，提高该真空设备的密封性能。 [0089] 如图1所示，本实施例中的真空设备还包括支架600，腔体100设置在支架600上，使得腔体100能够被支架600架空至一定的高度，便于作业人员的操作作业。支架600上设置有横梁610，第一驱动装置300设置在横梁610上，进而当门阀在不密封腔体100的情况下，门阀也不会脱离横梁610，避免发生门阀丢失的现象，提高真空设备的整体性。 [0090] 作为一种可选的技术方案，本实施例中的腔体100上设置有第一限位机构(图中未示出)和第二限位机构(图中未示出)，且第一限位机构和第二限位机构分别相对地沿第一方向设置在阀板200的两侧，第一限位机构和第二限位机构的设置能够有利于阀板200可以在一定的区域进行升降运动，避免阀板200在升降运动的过程中出现滑脱导轨120的故障现象。示例性地，第一限位机构和第二限位机构可以分别设置为2个、4个、6个等数量，本实施例对此不作限定。示例性地，第一限位机构和第二限位机构可以均采用螺钉或者挡块的结构。 [0091] 当门阀无需对腔体100的开口110处进行密封时，此时断开电磁吸盘400的通电，电磁吸盘400失去磁性，进而使得阀板200能够在弹性固定板140的作用下回弹复位，此时弹性固定板140与腔体100的外壁保持一定的间隙，第一驱动装置300开始启动，使得第一驱动装置300带动阀板200在导轨120上实现下降运动，直至阀板200与触碰到第二限位机构时，第一驱动装置300停止驱动阀板200运动，此时阀板200将腔体100的开口110完全打开。 [0092] 本实施例中的真空设备结构简单、紧凑，设备小型化，减少真空设备安装时所需空间，提高安装效率，进而节约成本。 [0093] 显然，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。 [0094] 注意，在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”等的描述意指接合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式接合。