一种柔性无源光学式压力传感器专利检索-用于测量流动介质的稳定或准稳定压力的仪表的零部件或附件就这些零部件或附件而论不是特殊形式的压力计所专用的专利检索查询-专利查询网

一种柔性无源光学式压力传感器
申请号	CN202311677742.3	申请日	2023-12-08	公开(公告)号	CN117664407A	公开(公告)日	2024-03-08
申请人	浙江大学;			发明人	付浩然; 洪成鹏; 梁冠文; 闫子壮; 万章博; 张毅; 杨超; 陆益挺; 刘承斌; 边学成; 蒋建群; 陈云敏;
摘要	本发明公开了一种柔性无源光学式压力传感器，包括有从下至上顺次粘接固定的力敏传感器薄膜层、光子晶体微结构层和透明柔性薄膜层，光子晶体微结构层的顶面上设置有光子晶体图案，力敏传感器薄膜层和透明柔性薄膜层之间设置有柔性封装支撑结构，光子晶体微结构层设置于柔性封装支撑结构的内腔中且光子晶体微结构层的高度不大于柔性封装支撑结构内腔的高度。本发明可直接通过观测传感器颜色的变化实时直观掌握压力的变化情况，避免了数据传输分析造成压力数据延误的问题。
权利要求
说明书全文

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