1.一种基于主动隔振的宏微双驱动精密定位装置，其特征在于，包括机械运动本体单元、检测单元及驱动控制单元；
所述机械运动本体单元包括定位装置底座、U形台、微动平台、有铁直线电机及APA驱动器；
所述定位装置底座的凸台上固定两条直线导轨，每根直线导轨上设有两个滑块；
所述U形台由两块相同的U形台侧板和U形底板构成，两块U形台侧板相互平行并垂直固定于U形台底板上；U形台与导轨上的滑块连接，相对于定位装置底座滑动；
所述微动平台通过柔性铰链设置在U形台底板的上方；
所述有铁直线电机的定子固定在定位装置底座上，其动子固定在U形台底板的下面；
所述APA驱动器一端连接U形台侧板，另一端通过连接铰链与微动平台连接；
所述检测单元包括用于检测U形台位移量的光栅位移传感器、用于检测微动平台位移量的激光干涉仪及用于检测微动平台相对U形台水平方向振动量的电容位移传感器；
所述控制单元包括直线电机伺服放大器、APA线性放大器、运动控制卡、计算机及数据采集卡，所述检测单元检测信号输出至数据采集卡，进一步输入至计算机，所述计算机与运动控制卡相互连接，所述运动控制卡分别输出信号至直线电机伺服放大器及APA线性放大器，进一步驱动有铁直线电机及APA驱动器；
还包括一根横梁，所述横梁固定在定位装置底座上，激光干涉仪固定在横梁上；
所述微动平台的一个侧面安装微动检测板，其相对于微动平台不动。
2.根据权利要求1所述的宏微双驱动精密定位装置，其特征在于，所述有铁直线电机安装后的动子与定子之间存在2mm间隙。
3.根据权利要求1所述的宏微双驱动精密定位装置，其特征在于，微动检测板用于检测位移的一个面为光滑平面。
4.根据权利要求1所述的宏微双驱动精密定位装置，其特征在于，所述柔性铰链为六条。
5.一种基于权利要求1‑4任一项所述宏微双驱动精密定位装置的控制方法，其特征在于，包括如下步骤：
光栅位移传感器检测当前U形台的位置，将位置信息经过数据采集卡传送至计算机中，计算机将该信息处理并得出控制信息，将该控制信息经运动控制卡、直线电机伺服放大器传送至有铁直线电机产生宏动运动；
激光干涉仪检测微动平台的位置，将信息经过数据采集卡传送至计算机，计算机运行相关算法将控制信息传递至运动控制卡、APA线性放大器，最后控制APA驱动器使微动平台产生微动位移达到精密定位；
电容位移传感器在微动平台宏动运动及精密定位的过程中检测微动平台相对U形台的振动量，并将该信息量经过数据采集卡传送至计算机，由计算机运行隔振控制算法，识别该信息是否为异常振动并产生相应抑制振动的信号，将该信号经运动控制卡、APA线性放大器传输至ADA驱动器，使有害振动得到抑制。