1.一种微动台，其特征在于，包括：
底部驱动装置（1），其包括底板（11）和第一驱动组件（12），所述底板（11）设置有沿第一方向延伸的第一滑轨（13）；
中间驱动装置（2），其包括中间板（21）和第二驱动组件（22），所述中间板（21）的底部安装有第一滑块（23），所述第一滑块（23）滑动连接于所述第一滑轨（13），所述第一驱动组件（12）安装于所述底板（11）上，且驱动连接于所述中间板（21）；所述中间板（21）的顶面设置有沿第二方向延伸的第二滑轨（24），所述第二方向在经过所述第一方向的竖直平面上的投影与所述第一方向呈夹角设置；
顶部驱动装置（3），其包括顶板（31），所述顶板（31）的顶面用于安装待安装物，所述顶板（31）的底面安装有第二滑块（32），所述第二滑块（32）滑动连接于所述第二滑轨（24）；所述第二驱动组件（22）安装于所述中间板（21）上，且驱动连接于所述顶板（31）。
2.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述第一滑轨（13）所在的竖直平面与所述第二滑轨（24）所在的竖直平面平行或重合。
3.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述第一驱动组件（12）和/或所述第二驱动组件（22）为压电陶瓷驱动电机。
4.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，还包括重力补偿装置（4），所述第二方向倾斜设置，所述重力补偿装置（4）包括第一弹性件（41），所述第一弹性件（41）的第一端连接于所述中间板（21），所述第一弹性件（41）的第二端连接于所述顶板（31），所述顶板（31）的底面倾斜设置，所述第一弹性件（41）用于对所述顶板（31）施加倾斜向上的拉力。
5.根据权利要求4所述的微动台，其特征在于，所述重力补偿装置（4）包括第三滑轨（42）、调节块（43）、固定块（44）和调节螺钉（45），所述调节块（43）安装于所述中间板（21）的顶面，所述第三滑轨（42）沿所述第二方向延伸，所述固定块（44）滑动连接于所述第三滑轨（42）；所述第一弹性件（41）的第一端连接于所述固定块（44）；
所述调节块（43）位于所述固定块（44）沿所述第二方向的一侧，所述调节块（43）设置有通孔，所述固定块（44）设置有沿所述第二方向延伸的螺纹孔，所述调节螺钉（45）穿设于所述通孔并螺纹连接于所述螺纹孔。
6.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，还包括位移测量组件，所述位移测量组件包括第一光栅尺（51）和第一光栅读头（52），所述第一光栅尺（51）和第一光栅读头（52）二者中的一个安装于所述底板（11），另一个安装于所述中间板（21），所述第一光栅尺（51）用于测量所述第一光栅读头（52）的位移；
所述位移测量组件包括第二光栅尺（53）和第二光栅读头（54），所述第二光栅尺（53）和第二光栅读头（54）二者中的一个安装于所述中间板（21），另一个安装于所述顶板（31），所述第二光栅尺（53）用于测量所述第二光栅读头（54）的位移。
7.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，还包括光电限位组件（6），所述光电限位组件（6）包括光电限位块（61）、第一固定板（62）、光电开关（63）和第二固定板（64），所述光电限位块（61）安装于所述第一固定板（62），所述第一固定板（62）连接于所述顶板（31）；
所述光电开关（63）安装于所述第二固定板（64），所述第二固定板（64）连接于所述底板（11）；所述光电限位块（61）上设置有限位板，所述光电开关（63）上设置有检测槽，所述限位板能够进入或离开所述检测槽。
8.根据权利要求7所述的微动台，其特征在于，所述限位板包括上限位板（611）、下限位板（612）、左限位板（613）和右限位板（614），所述检测槽包括第一检测槽（631）、第二检测槽（632）、第三检测槽（633）和第四检测槽（634），所述上限位板（611）和所述下限位板（612）的垂向位置不同，所述上限位板（611）能够沿垂向进入或离开所述第一检测槽（631），所述下限位板（612）能够沿垂向进入或离开所述第二检测槽（632）；
所述左限位板（613）和所述右限位板（614）沿所述第一方向间隔设置，所述左限位板（613）能够沿所述第一方向进入或离开所述第三检测槽（633），所述右限位板（614）能够沿所述第一方向进入或离开所述第四检测槽（634）。
9.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，还包括机械限位组件（7），所述机械限位组件（7）包括水平限位部件（71），所述水平限位部件（71）包括前限位块（711）、后限位块（712）和第一限位板（713），所述前限位块（711）和所述后限位块（712）沿所述第一方向间隔安装于所述顶板（31）的底部，所述第一限位板（713）安装于所述底板（11）的顶部，且所述第一限位板（713）部分伸入所述前限位块（711）和所述后限位块（712）之间的第一间隙内；所述前限位块（711）的侧壁可拆卸安装有第一限位螺丝（714），所述第一限位螺丝（714）的端部伸入所述第一间隙内，所述第一限位板（713）的侧壁安装有第四限位螺丝（715），所述第四限位螺丝（715）端部能够抵接于所述后限位块（712）。
10.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，还包括机械限位组件（7），所述机械限位组件（7）包括垂向限位部件（72），所述垂向限位部件（72）包括第一垂向限位板（721）和第二垂向限位板（722），所述第一垂向限位板（721）一端安装于所述底板（11）上，另一端设置有第一水平限位部（7211），所述第二垂向限位板（722）一端安装于所述顶板（31）上，另一端设置有第二水平限位部（7221），所述第二水平限位部（7221）至少部分位于所述第一水平限位部（7211）的正下方，所述第一水平限位部（7211）可拆卸安装有第二限位螺丝（723），所述第二限位螺丝（723）的端部伸入所述第一水平限位部（7211）和所述第二水平限位部（7221）之间，所述顶板（31）底部可拆卸安装有第三限位螺丝（724），所述第三限位螺丝（724）的端部位于所述第一水平限位部（7211）顶部。
11.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，还包括多个缓冲装置（8），所述顶板（31）的顶部和/或所述底板（11）的底部设置有所述缓冲装置（8）；
所述缓冲装置（8）包括缓冲头（81）、缓冲座（82）和第二缓冲件（83），所述缓冲座（82）一端安装于所述顶板（31）或所述底板（11），另一端设置有导向槽，所述缓冲头（81）滑动连接于所述导向槽，且所述缓冲头（81）与所述导向槽的槽底之间设置有所述第二缓冲件（83）。
12.根据权利要求11所述的微动台，其特征在于，还包括两个第一吊装板（91）和两个第二吊装板（93），两个所述第一吊装板（91）位于所述微动台沿所述第一方向的两端，两个所述第二吊装板（93）位于所述微动台沿第三方向的两端，所述第三方向垂直于所述第一方向，且平行于所述底板（11）所在平面，所述第一吊装板（91）和所述第二吊装板（93）均连接于所述底板（11）和所述顶板（31），
所述第一吊装板（91）的顶部和/或所述第二吊装板（93）的顶部设置有吊环（92）；
所述第一吊装板（91）的侧壁和/或所述第二吊装板（93）的侧壁设置有所述缓冲装置（8）。