基本信息:
- 专利标题： 阻抗匹配方法及阻抗匹配系统
- 申请号：CN201310388807.2 申请日：2013-08-30
- 公开(公告)号：CN104425201B 公开(公告)日：2017-09-01
- 发明人： 张璐 , 王东 , 陈鹏 , 吕铀 , 师帅涛
- 申请人： 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- 申请人地址： 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
- 专利权人： 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- 当前专利权人： 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
- 代理机构： 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理人： 彭瑞欣; 张天舒
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32 ; H05H1/46
摘要：
本发明提供阻抗匹配方法及阻抗匹配系统，阻抗匹配方法包括以下步骤：步骤S1，采集射频电源的输出信号，并根据输出信号判断射频电源输出的射频功率信号是否存在；步骤S2，对射频电源的输出阻抗和负载阻抗进行匹配；步骤S3，控制电机停止匹配工作且保持在当前匹配位置不变。本发明提供的阻抗匹配方法，其可以提高阻抗匹配的速率，从而可以避免在整个工艺过程中无法实现阻抗匹配。
公开/授权文献:
- CN104425201A 阻抗匹配方法及阻抗匹配系统 公开/授权日：2015-03-18