基本信息:
- 专利标题： 硬罩幕组成物及使用硬罩幕组成物的图案形成方法
- 申请号：CN201380053489.2 申请日：2013-09-02
- 公开(公告)号：CN104718497B 公开(公告)日：2019-03-19
- 发明人： 李哲虎 , 朴惟廷 , 尹龙云 , 李圣宰 , 赵娟振 , 金永珉 , 李忠宪
- 申请人： 第一毛织株式会社
- 申请人地址： 韩国庆尚北道龟尾市龟尾大路58番地730-710
- 专利权人： 第一毛织株式会社
- 当前专利权人： 第一毛织株式会社
- 当前专利权人地址： 韩国庆尚北道龟尾市龟尾大路58番地730-710
- 代理机构： 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理人： 杨贝贝; 臧建明
- 优先权： 10-2012-0118491 2012.10.24 KR
- 国际申请： PCT/KR2013/007873 2013.09.02
- 国际公布： WO2014/065500 KO 2014.05.01
- 进入国家日期： 2015-04-13
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; G03F1/00 ; G03F7/26
摘要：
揭示硬罩幕组成物以及使用硬罩幕组成物的图案形成方法。硬罩幕组成物包括由下列化学式1表示的高分子、由下列化学式2表示的单体以及溶剂，其中所包含的单体的含量等同于或高于高分子的含量。一实施例的硬罩幕组成物确保耐热性以及耐蚀刻性，且满足填沟特性。
公开/授权文献:
- CN104718497A 硬罩幕组成物及使用硬罩幕组成物的图案形成方法 公开/授权日：2015-06-17