基本信息:
- 专利标题： 半导体制造的工艺任务处理方法及系统
- 申请号：CN201310744720.4 申请日：2013-12-30
- 公开(公告)号：CN104750046B 公开(公告)日：2017-09-01
- 发明人： 马平
- 申请人： 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- 申请人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
- 专利权人： 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- 当前专利权人： 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
- 代理机构： 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理人： 陈振
- 主分类号： G05B19/418
- IPC分类号： G05B19/418
摘要：
本发明公开了一种半导体制造的工艺任务处理方法及系统，其中方法包括：在半导体制造的工艺配方中设置循环执行参数；根据半导体制造的工艺任务和循环执行参数生成所述工艺配方的循环执行数组；在判断所述工艺配方的循环执行数组符合所述工艺任务的逻辑要求后，在所述工艺任务中依次执行所述工艺配方的循环执行数组。本发明的半导体制造的工艺任务处理方法及系统，将工艺任务中的多组循环工艺整合到一个工艺配方的循环执行数组中依次执行，无需编辑多个子配方便可实现工艺配方中的多步循环，逻辑操作简单，耦合度低，工艺操作安全性高。
公开/授权文献:
- CN104750046A 半导体制造的工艺任务处理方法及系统 公开/授权日：2015-07-01
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G05 | 控制；调节 |
| ----G05B | 一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置 |
| ------G05B19/00 | 程序控制系统 |
| --------G05B19/02 | .电的 |
| ----------G05B19/418 | ..全面工厂控制，即集中控制许多机器，例如直接或分布数字控制（DNC）、柔性制造系统（FMS）、集成制造系统（IMS）、计算机集成制造（CIM） |