基本信息:
- 专利标题： 反应腔加热控制方法及装置
- 申请号：CN201310753142.0 申请日：2013-12-31
- 公开(公告)号：CN104750140B 公开(公告)日：2017-09-01
- 发明人： 张孟湜
- 申请人： 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- 申请人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
- 专利权人： 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- 当前专利权人： 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
- 代理机构： 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理人： 陈振
- 主分类号： G05D23/30
- IPC分类号： G05D23/30
摘要：
本发明提供一种反应腔加热控制方法及装置。其中方法包括以下步骤：在反应腔底部设置至少两个温度传感器，对反应腔的温度进行检测；根据至少两个所述温度传感器检测到的温度判断反应腔上设置的加热器断连；当作为反应腔温度控制点的温度传感器发生故障时，将未作为反应腔温度控制点的另一温度传感器切换作为新的反应腔温度控制点，对反应腔温度进行控制。该方法及装置能够实现判断加热器断连，降低作为反应腔温度控制点的温度传感器发生故障时对整个加热控制装置的不良影响。
公开/授权文献:
- CN104750140A 反应腔加热控制方法及装置 公开/授权日：2015-07-01
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G05 | 控制；调节 |
| ----G05D | 非电变量的控制或调节系统 |
| ------G05D23/00 | 温度的控制 |
| --------G05D23/19 | .以使用电装置为特征的 |
| ----------G05D23/30 | ..具有影响传感元件的辅助加热装置的自动控制器，例如，预测温度变化的 |