基本信息:
- 专利标题： 一种条形霍尔离子源
- 申请号：CN201811133963.3 申请日：2018-09-27
- 公开(公告)号：CN109166780B 公开(公告)日：2023-10-24
- 发明人： 刘伟基 , 冀鸣 , 赵刚 , 陈蓓丽
- 申请人： 中山市博顿光电科技有限公司
- 申请人地址： 广东省中山市火炬开发区数贸大厦1栋1130
- 专利权人： 中山市博顿光电科技有限公司
- 当前专利权人： 中山市博顿光电科技有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省中山市火炬开发区数贸大厦1栋1130
- 代理机构： 广州市红荔专利代理有限公司
- 代理人： 吴伟文
- 主分类号： H01J27/14
- IPC分类号： H01J27/14
摘要：
本发明提供一种条形霍尔离子源，包括条形的壳体，设置在所述壳体一端的中空阴极，中空阴极的阴极口位于壳体上端开口的上方；设置在所述壳体内的与所述中空阴极相对应的阳极，阳极上方设置有与壳体上端开口对应的阳极口；设置阳极下端的冷却机构和工艺气输气机构；以及设置在壳体内并位于冷却底板下端的多个磁铁。本发明结构简单，设计合理，通过使用中空阴极管实现无灯丝结构，进一步提高了阴极的使用寿命，功率大大提高，另外，通过将离子源设置为条形，大大提高了覆盖面积，更加适合连续生产线的使用，并且通过设置多路工艺气体供气管道，以及通过准确各路的供气量，保证离子束的均匀分布。
公开/授权文献:
- CN109166780A 一种条形霍尔离子源 公开/授权日：2019-01-08