基本信息:
- 专利标题： 双光频梳测厚光路结构、系统、方法、装置及存储介质
- 申请号：CN201811064599.X 申请日：2018-09-12
- 公开(公告)号：CN109238153A 公开(公告)日：2019-01-18
- 发明人： 余浩洋 , 马茹玉 , 倪凯 , 吴冠豪 , 周倩 , 李星辉 , 王晓浩
- 申请人： 清华大学深圳研究生院
- 申请人地址： 广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区
- 专利权人： 清华大学深圳研究生院
- 当前专利权人： 清华大学深圳研究生院
- 当前专利权人地址： 广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区
- 代理机构： 广州嘉权专利商标事务所有限公司
- 代理人： 洪铭福
- 主分类号： G01B11/06
- IPC分类号： G01B11/06 ; G01B11/14
摘要：
本发明公开了一种双光频梳测厚光路结构、系统、方法、装置及存储介质。本发明通过利用信号光频梳作为测量臂光路的光源，并利用本振光频梳与两组测量光脉冲进行多外差干涉，通过测量干涉信号的相位时延，计算出待测物体厚度，克服了传统迈克尔逊干涉仪存在的无法对待测表面之间的绝对距离进行测量的技术问题，实现了一种有利于高精度、高实时性的光学表面距离测量双光频梳测厚光路结构、系统、方法、装置及存储介质。本发明可广泛应用于平行表面距离的测量。
公开/授权文献:
- CN109238153B 双光频梳测厚光路结构、系统、方法、装置及存储介质 公开/授权日：2024-03-26
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |
| --------G01B11/02 | .用于计量长度、宽度或厚度 |
| ----------G01B11/06 | ..用于计量厚度 |