基本信息:
- 专利标题： 一种制备高洁净度涂层的方法
- 申请号：CN202010239678.0 申请日：2020-03-30
- 公开(公告)号：CN111424273A 公开(公告)日：2020-07-17
- 发明人： 徐俊阳 , 郑广文 , 李加
- 申请人： 沈阳富创精密设备有限公司
- 申请人地址： 辽宁省沈阳市东陵区飞云路18甲-1号
- 专利权人： 沈阳富创精密设备有限公司
- 当前专利权人： 沈阳富创精密设备有限公司
- 当前专利权人地址： 辽宁省沈阳市东陵区飞云路18甲-1号
- 代理机构： 沈阳优普达知识产权代理事务所
- 代理人： 俞鲁江
- 主分类号： C23C24/04
- IPC分类号： C23C24/04 ; H01L21/02
摘要：
本发明涉及一种制备高洁净度涂层的方法，(1)选择细小颗粒的粉末，颗粒直径小于15μm或者纳米颗粒；(2)设定沉积室压力小于1000Pa；(3)喷嘴与零件基体的相对速度为0.2-1.5mm/min；(4)喷嘴到基体之间的距离为7-27mm。本发明可以得到较广的涂层厚度范围，涂层的洁净度更高，颗粒很难吸附在涂层表面。同时，还具有较高的耐腐蚀性。