基本信息:
- 专利标题： 一种精密加工的保证轮廓度尺寸工装
- 申请号：CN202010605920.1 申请日：2020-06-29
- 公开(公告)号：CN111775080A 公开(公告)日：2020-10-16
- 发明人： 许国庆 , 张艳娟
- 申请人： 沈阳富创精密设备有限公司
- 申请人地址： 辽宁省沈阳市东陵区飞云路18甲-1号
- 专利权人： 沈阳富创精密设备有限公司
- 当前专利权人： 沈阳富创精密设备有限公司
- 当前专利权人地址： 辽宁省沈阳市东陵区飞云路18甲-1号
- 代理机构： 沈阳优普达知识产权代理事务所
- 代理人： 孙奇
- 主分类号： B25B11/00
- IPC分类号： B25B11/00
摘要：
本发明一种精密加工的保证轮廓度尺寸工装，其特征在于，主要用于加工300mm腔体产品的内侧壁结构，由于300mm反应腔是半导体领域的关键产品，主要用于气相沉积CVD、PECVD半导体制程，腔体产品结构较为复杂，装配的内侧壁轮廓度要求0.02mm以内；本工装(1)保证产品尺寸的轮廓度和平行度关键尺寸问题；(2)减少人工翻面粘胶加工内侧窗时的造成的二次装夹产品磕伤，碰伤问题；(3)使用保证产品一致性。本发明通过专用治具来解决加工产品过程中，轮廓度超差，定位不准等影响产品关键尺寸等技术难题，保证了轮廓度尺寸，从而提高生产良率，减少报废。