
基本信息:
- 专利标题: 一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置及其检测方法
- 申请号:CN202011192815.6 申请日:2020-10-30
- 公开(公告)号:CN112509963B 公开(公告)日:2024-03-22
- 发明人: 宋运运 , 张昕 , 孙正斌 , 刘勋 , 裴亚星 , 刘猛
- 申请人: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
- 申请人地址: 河南省郑州市高新区梧桐街121号
- 专利权人: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
- 当前专利权人: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,郑州三磨超硬材料有限公司
- 当前专利权人地址: 450001 河南省郑州市高新区梧桐街121号
- 代理机构: 郑州联科专利事务所
- 代理人: 蔡艳
- 主分类号: H01L21/683
- IPC分类号: H01L21/683 ; G01N7/10 ; G01N15/08
摘要:
本发明属于真空吸盘技术领域,具体涉及一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置及其检测方法。所述多孔真空吸盘的自洁性检测装置,包括包括真空发生器,所述真空发生器有三个接口,分别连接第一连接管、第二连接管和第三连接管,第一连接管的末端与压缩空气过滤减压阀相连接,第二连接管的末端与大气相通,第三连接管的末端与多孔真空吸盘的抽气孔相连接;第三连接管上连接有电子压力计;压缩空气过滤减压阀通过第四连接管和空气压缩机相连接。采用本发明的检测装置和检测方法能够很好并准确的检测多孔真空吸盘的自洁性能。
公开/授权文献:
- CN112509963A 一种多孔真空吸盘的自洁性检测装置及其检测方法 公开/授权日:2021-03-16