基本信息:
- 专利标题： 一种表面清洁装置
- 申请号：CN202110247601.2 申请日：2021-03-06
- 公开(公告)号：CN112808707A 公开(公告)日：2021-05-18
- 发明人： 高佳
- 申请人： 东莞市峰谷纳米科技有限公司
- 申请人地址： 广东省东莞市大岭山镇对面岭街31号7号楼801室
- 专利权人： 东莞市峰谷纳米科技有限公司
- 当前专利权人： 东莞市峰谷纳米科技有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省东莞市大岭山镇对面岭街31号7号楼801室
- 代理机构： 广州市一新专利商标事务所有限公司
- 代理人： 刘兴耿
- 主分类号： B08B7/00
- IPC分类号： B08B7/00 ; B08B13/00
摘要：
本发明是一种表面清洁装置，包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体底部还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱一侧设有高压电源，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体，本发明中采用石墨作为电极对活性气体与惰性气体进行电离，石墨电极与活性气体及惰性气体反应后，不会对被清洗产品表面造成残留，设置有多组石墨电极，增加了对惰性气体与活性气体的电离速率。
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B08 | 清洁 |
| ----B08B | 一般清洁；一般污垢的防除 |
| ------B08B7/00 | 不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法 |