基本信息:
- 专利标题： 具有网格状阴阳极沟槽结构的瞬态电压抑制保护器件
- 申请号：CN202111047867.9 申请日：2021-09-08
- 公开(公告)号：CN113488464A 公开(公告)日：2021-10-08
- 发明人： 朱伟东 , 赵泊然
- 申请人： 江苏应能微电子有限公司
- 申请人地址： 江苏省常州市新北区华山路8号-5号楼
- 专利权人： 江苏应能微电子有限公司
- 当前专利权人： 江苏应能微电子股份有限公司
- 当前专利权人地址： 213000 江苏省常州市天宁区创智路5号4号楼（8层、9层）
- 代理机构： 无锡市兴为专利代理事务所
- 代理人： 屠志力
- 主分类号： H01L27/02
- IPC分类号： H01L27/02
摘要：
本发明提供一种具有网格状阴阳极沟槽结构的瞬态电压抑制保护器件，包括：P型衬底，在P型衬底上生长有N型外延；在N型外延上部左侧制作有N型阱区，在N型外延上部右侧制作有与N型阱区相切的P型阱区；在N型阱区表面之下内部左侧制作有第一N+区，右侧制作有与第一N+区右侧相切的第一P+区；在P型阱区表面之下内部左侧制作有第二N+区，右侧制作有与第二N+区右侧相切的第二P+区；在N型阱区和P型阱区交界处制作有第三N+区，用于形成触发区；在第一P+区内设有网格状的第一沟槽结构将其分割成多个网格；在第二N+区内设有网格状的第二沟槽结构将其分割成多个网格；该器件一方面能提高器件维持电压Vh避免闩锁，另一方面可使器件电流分布更加均匀，提高器件电流能力。
公开/授权文献:
- CN113488464B 具有网格状阴阳极沟槽结构的瞬态电压抑制保护器件 公开/授权日：2021-12-07