基本信息:
- 专利标题： 适用于小间距显示屏的LED外延片制作方法
- 申请号：CN202110820277.9 申请日：2021-07-20
- 公开(公告)号：CN113540296B 公开(公告)日：2024-05-14
- 发明人： 徐平
- 申请人： 湘能华磊光电股份有限公司
- 申请人地址： 湖南省郴州市白露塘有色金属产业园
- 专利权人： 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人： 湘能华磊光电股份有限公司
- 当前专利权人地址： 湖南省郴州市白露塘有色金属产业园
- 代理机构： 长沙七源专利代理事务所
- 代理人： 张勇; 刘伊旸
- 主分类号： H01L33/00
- IPC分类号： H01L33/00 ; H01L33/06 ; H01L27/15
摘要：
本申请公开了一种适用于小间距显示屏的LED外延片制作方法，依次包括：处理衬底、生长低温GaN缓冲层、生长非掺杂GaN层、生长掺杂Si的N型GaN层、生长多量子阱层、生长AlGaN电子阻挡层、生长掺杂Mg的P型GaN层，降温冷却，其中生长多量子阱层依次包括进行通入TMIn源、生长MQWs1以及生长MQWs2的步骤，所述生长MQWs1包括依次生长InGaN阱层和InxAlyMg(1‑x‑y)层的步骤，所述生长MQWs2包括依次生长GaO层和GaN垒层的步骤。本发明通过采用新的LED外延片制作方法来减少波长蓝移，并提高LED的亮度，尤其适合于制作小间距显示屏。
公开/授权文献:
- CN113540296A 适用于小间距显示屏的LED外延片制作方法 公开/授权日：2021-10-22