基本信息:
- 专利标题： 改进的阴极电弧源过滤管
- 申请号：CN202110683431.2 申请日：2021-06-18
- 公开(公告)号：CN113903650B 公开(公告)日：2024-09-17
- 发明人： 史旭 , 杨明楚 , 陈国豪
- 申请人： 纳峰真空镀膜（上海）有限公司
- 申请人地址： 上海市青浦区嵩辉路399号
- 专利权人： 纳峰真空镀膜（上海）有限公司
- 当前专利权人： 纳峰真空镀膜（上海）有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市青浦区嵩辉路399号
- 代理机构： 北京恒都律师事务所
- 代理人： 李向东
- 主分类号： H01J37/34
- IPC分类号： H01J37/34 ; C23C14/32
摘要：
一个用于阴极电弧源的过滤管(104a，104b，108)包括：具有至少一个弯曲部分(104a、104b)的过滤管管道，以及用于引导离子通过过滤管管道以从离子中去除大颗粒的第一磁场源；其中，所述设备包括第二磁场源(108)，其可旋转地安装围绕在过滤管的部分管道上。阴极弧源(102)和阴极电弧沉积设备(106)包括本文所述的过滤管，和能够从阴极电弧源中发出的离子束中，过滤掉大颗粒的过滤管。
公开/授权文献:
- CN113903650A 改进的阴极电弧源过滤管 公开/授权日：2022-01-07