基本信息:
- 专利标题： 一种氢气传感器及其制备方法
- 申请号：CN202111449733.X 申请日：2021-11-30
- 公开(公告)号：CN114280107B 公开(公告)日：2025-04-29
- 发明人： 谢贵久 , 张浩 , 车颜贤 , 何峰 , 丁玎 , 张月鑫
- 申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 申请人地址： 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 专利权人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人地址： 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 代理机构： 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
- 代理人： 廖元宝
- 主分类号： G01N27/12
- IPC分类号： G01N27/12 ; G01K7/18
摘要：
本发明公开了一种氢气传感器及其制备方法，属于传感器技术领域，用于解决目前氢气传感器抗干扰性能弱的技术问题，氢气传感器具体包括硅片衬底，所述硅片衬底上设有薄膜电气隔离层，所述薄膜电气隔离层上设有加热电阻、测温电阻和氢敏电阻，所述加热电阻、测温电阻和氢敏电阻均设置有引线端，所述氢敏电阻的上方设有一层有机聚合物薄膜层。本发明具有性能稳定、寿命长、成本低、抗干扰性能好等优点。
公开/授权文献:
- CN114280107A 一种氢气传感器及其制备方法 公开/授权日：2022-04-05
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N27/00 | 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料 |
| --------G01N27/02 | .通过测试阻抗 |
| ----------G01N27/04 | ..通过测试电阻 |
| ------------G01N27/12 | ...与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻 |