
基本信息:
- 专利标题: 中空芯部光纤中的改进的宽带辐射生成
- 申请号:CN202080064490.5 申请日:2020-09-07
- 公开(公告)号:CN114514465B 公开(公告)日:2025-03-28
- 发明人: 倪永锋
- 申请人: ASML荷兰有限公司
- 申请人地址: 荷兰维德霍温
- 专利权人: ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人: ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址: 荷兰维德霍温
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理人: 胡良均
- 优先权: 19198064.8 2019.09.18 EP 19202163.2 2019.10.09 EP
- 国际申请: PCT/EP2020/074963 2020.09.07
- 国际公布: WO2021/052801 EP 2021.03.25
- 进入国家日期: 2022-03-14
- 主分类号: G02F1/365
- IPC分类号: G02F1/365 ; G02F1/35 ; G03F7/20
摘要:
用于通过光谱展宽生成宽带辐射的辐射源组件和方法。所述组件包括泵浦源,被配置为以一个或多个波长发射经调制的泵浦辐射。所述组件还包括光纤,被配置为接收由所述泵浦源发射的所述经调制的泵浦辐射,所述光纤包括沿着所述光纤的长度的一部分延伸的中空芯部。所述中空芯部被配置为在通过所述光纤传播期间引导所述接收到的辐射。由所述泵浦源发射的所述辐射包括处于泵浦波长的第一辐射,并且所述泵浦源被配置为调制所述第一辐射以激发所述光纤中的光谱展宽。
公开/授权文献:
- CN114514465A 中空芯部光纤中的改进的宽带辐射生成 公开/授权日:2022-05-17