基本信息:
- 专利标题： 一种MEMS超薄悬浮膜释放方法
- 申请号：CN202210373580.3 申请日：2022-04-11
- 公开(公告)号：CN114852952B 公开(公告)日：2025-04-18
- 发明人： 梁庭 , 关一浩 , 雷程 , 熊继军 , 武学占
- 申请人： 中北大学
- 申请人地址： 山西省太原市尖草坪区学院路3号
- 专利权人： 中北大学
- 当前专利权人： 中北大学
- 当前专利权人地址： 山西省太原市尖草坪区学院路3号
- 代理机构： 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
- 代理人： 杨斌华
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00 ; B81B7/02
摘要：
本发明的目的在于提供一种适用于批量化、低成本、较简便的超薄悬浮膜释放方法，属于MEMS传感器技术领域，本发明在干法刻蚀过程中通过引入贴片环，贴片环光刻胶形成台阶，使得正面保护的陪片与膜结构不直接接触，避免了之后膜分离时的外力损伤。贴片环位于晶圆一圈，属于密闭环，避免刻蚀气体进入空隙造成损伤。适用于批量化、低成本、较简便的超薄悬浮膜释放。
公开/授权文献:
- CN114852952A 一种MEMS超薄悬浮膜释放方法 公开/授权日：2022-08-05
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B81 | 微观结构技术 |
| ----B81C | 专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备 |
| ------B81C1/00 | 在基片内或其上制造或处理的装置或系统 |