基本信息:
- 专利标题： 光敏微晶玻璃
- 申请号：CN202210723595.8 申请日：2022-06-24
- 公开(公告)号：CN114933416B 公开(公告)日：2023-07-25
- 发明人： 胡斌 , 原保平 , 于天来 , 莫大洪 , 陈肖朴
- 申请人： 成都光明光电有限责任公司
- 申请人地址： 四川省成都市成都经济技术开发区成龙大道三段359号
- 专利权人： 成都光明光电有限责任公司
- 当前专利权人： 成都光明光电有限责任公司
- 当前专利权人地址： 四川省成都市成都经济技术开发区成龙大道三段359号
- 代理机构： 成都希盛知识产权代理有限公司
- 代理人： 蒲敏
- 主分类号： C03C10/14
- IPC分类号： C03C10/14 ; C03C4/04
摘要：
本发明提供一种具有较高刻蚀选择比和较大通孔深宽比的光敏微晶玻璃。光敏微晶玻璃，其组分以重量百分比表示，含有：SiO2：74.6～82.5％；Li2O：7.1～10.4％；R2O：1.4～8.7％；Al2O3：2.1～6％；TiO2+Ag2O：0.1～0.5％，所述R2O为Na2O、K2O中的一种或两种。通过合理的组分设计，本发明光敏微晶玻璃具有较高刻蚀选择比和较大通孔深宽比，提高了光敏微晶玻璃TGV加工的实用性和器件可靠性。
公开/授权文献:
- CN114933416A 光敏微晶玻璃 公开/授权日：2022-08-23