基本信息:
- 专利标题： 一种微透镜面型动态调控优化控制方法
- 申请号：CN202210766399.9 申请日：2022-06-30
- 公开(公告)号：CN115128911B 公开(公告)日：2025-04-04
- 发明人： 黄胜洲 , 谢芳琳 , 徐曼曼 , 蒋铖玮 , 李懿 , 孙佳乐 , 王风涛 , 王雷 , 韦山
- 申请人： 安徽工程大学
- 申请人地址： 安徽省芜湖市鸠江区北京中路
- 专利权人： 安徽工程大学
- 当前专利权人： 安徽工程大学
- 当前专利权人地址： 安徽省芜湖市鸠江区北京中路
- 代理机构： 芜湖众汇知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 曹宏筠
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
本发明公开了一种微透镜面型动态调控优化控制方法，该方法包括以下步骤：输入目标轮廓方程和初始曝光剂量；进行曝光模拟，确定溶解速率分布；进行显影工艺模拟，确定最佳显影时间；判断是否满精度要求，若未达到精度要求，则进行程序优化直到达到所需精度；重复以上步骤，找到不同焦点处的最小误差，输出最优参数组合，实现微透镜三维面型的精细调控。本发明不仅节约了设计时间，还提高了目标结构的制造精度和质量。
公开/授权文献:
- CN115128911A 一种微透镜面型动态调控优化控制方法 公开/授权日：2022-09-30