基本信息:
- 专利标题： 一种锡铟合金靶材的塑性变形加工和热处理方法
- 申请号：CN202210903144.2 申请日：2022-07-29
- 公开(公告)号：CN115198239B 公开(公告)日：2023-12-12
- 发明人： 唐芸生 , 余琨 , 张家涛 , 贾元伟 , 储鑫 , 梁华鑫 , 李政 , 宋觉敏
- 申请人： 云南锡业集团(控股)有限责任公司研发中心
- 申请人地址： 云南省昆明市高新区昌源中路49号
- 专利权人： 云南锡业集团(控股)有限责任公司研发中心
- 当前专利权人： 云南锡业集团(控股)有限责任公司研发中心
- 当前专利权人地址： 云南省昆明市高新区昌源中路49号
- 代理机构： 昆明大百科专利事务所
- 代理人： 李云
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34 ; B22D27/04 ; C22C1/02 ; C22C13/00 ; C22F1/16
摘要：
一种锡铟合金靶材的塑性变形加工和热处理方法，采用高纯锡锭和高纯铟锭配置锡铟合金靶材成分，控制锡铟合金靶材成分中锡的含量为50％～95wt.％，铟的含量为5％～50wt.％；在电阻炉升温到260℃～300℃后，将高纯锡锭在石墨坩埚中加热熔化后，加入高纯铟锭并搅拌，得到合金熔体；将合金熔体浇铸到钢模中获得合金锭；将合金锭于100±10℃热处理16～24h；然后除去表面氧化皮，再挤压、或锻压、或轧制成型，得到初加工锡铟合金靶材；将初加工锡铟合金靶材进行退火处理，获得等轴形状且晶粒尺寸在30～50μm、晶粒无明显方向性的再结晶晶粒的锡铟合金靶材。本发明可获得高质量的真空溅射镀膜膜层，有利于真空溅射时获得优质膜层，具有广阔的市场前景。
公开/授权文献:
- CN115198239A 一种锡铟合金靶材的塑性变形加工和热处理方法 公开/授权日：2022-10-18