基本信息:
- 专利标题： 一种基于多线切割的双晶棒摆动机构
- 申请号：CN202211294875.8 申请日：2022-10-21
- 公开(公告)号：CN115582920B 公开(公告)日：2025-06-24
- 发明人： 闫芸 , 陶利权 , 汤明 , 靳永吉
- 申请人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 申请人地址： 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
- 专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 当前专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 当前专利权人地址： 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
- 代理机构： 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司
- 代理人： 严小艳
- 主分类号： B28D5/04
- IPC分类号： B28D5/04 ; B28D5/00
摘要：
本发明涉及多线切割技术领域，具体而言，涉及一种基于多线切割的双晶棒摆动机构，包括两个相互平行设置于水平面的转轴，两个转轴的轴线方向均为前后方向，侧视基准面与水平面相垂直，还包括带动两个转轴相向转动的摆杆单元，摆杆单元包括三级连杆单元和驱动电机，驱动电机与三级连杆单元连接，三级连杆单元与两个转轴连接，两个转轴上均用于安装晶棒单元；通过一个驱动电机进行连续旋转，再通过三级连杆单元传递动力，带动2根转轴相向往复于限定角度内摆动，进而使固定于2根转轴上的2套晶棒单元随摆，实现了一种供料系统中双晶棒的摆料方式，通过一个驱动电机实现双晶棒同时切割，从而能够提高切割效率。
公开/授权文献:
- CN115582920A 一种基于多线切割的双晶棒摆动机构 公开/授权日：2023-01-10
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B28 | 加工水泥、黏土或石料 |
| ----B28D | 加工石头或类似石头的材料 |
| ------B28D5/00 | 宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备 |
| --------B28D5/04 | .用非旋转式工具的，例如往复式工具 |