基本信息:
- 专利标题： 一种用于液体的真空蒸发源结构
- 申请号：CN202211521728.X 申请日：2022-11-30
- 公开(公告)号：CN115852312B 公开(公告)日：2025-04-25
- 发明人： 董茂进 , 冯煜东 , 王小军 , 秦丽丽 , 王冠 , 冯尔鹏 , 蔡宇宏 , 韩仙虎 , 王毅 , 马凤英
- 申请人： 兰州空间技术物理研究所
- 申请人地址： 甘肃省兰州市城关区高新飞雁街100号
- 专利权人： 兰州空间技术物理研究所
- 当前专利权人： 兰州空间技术物理研究所
- 当前专利权人地址： 甘肃省兰州市城关区高新飞雁街100号
- 代理机构： 北京理工大学专利中心
- 代理人： 张丽娜
- 主分类号： C23C14/12
- IPC分类号： C23C14/12 ; C23C14/24
摘要：
本发明涉及一种真空蒸发源结构，具体涉及一种用于液体的真空蒸发源结构。本发明公开了一种用于液体的真空蒸发源结构。对于饱和蒸汽压较低(小于10Pa)的液态单体，粘度1‑30CPS(25℃)。蒸发源设计有以下特点：1、能够连续供给，液体管和连续液体流量计设计；2、流量控制准确，液体流量计前后压强稳定；3、不会由于气泡等干扰恒定蒸发，雾化器前端具有除泡机构。
公开/授权文献:
- CN115852312A 一种用于液体的真空蒸发源结构 公开/授权日：2023-03-28