
基本信息:
- 专利标题: 一种用于透射电子显微镜的电子束偏转脉冲发生装置
- 申请号:CN202310220175.2 申请日:2023-03-02
- 公开(公告)号:CN116053104B 公开(公告)日:2025-04-15
- 发明人: 贾博文 , 王磊 , 蒋天豪 , 刘小青 , 吴劲松
- 申请人: 武汉理工大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞狮路122号
- 专利权人: 武汉理工大学
- 当前专利权人: 武汉理工大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞狮路122号
- 代理机构: 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人: 张璐
- 主分类号: H01J37/147
- IPC分类号: H01J37/147 ; H01J37/09 ; H01J37/26
摘要:
本申请公开了一种用于透射电子显微镜的电子束偏转脉冲发生装置,应用于透射电子显微镜的物镜系统中,包括方波脉冲模块和负脉冲发生模块;所述方波脉冲模块,用于根据待测样品的特性向所述负脉冲发生模块发送预设频率的方波触发脉冲信号;所述负脉冲发生模块,用于对所述方波触发脉冲信号进行波形处理,得到具有偏置电压的负脉冲输出信号;其中,所述负脉冲输出信号用于改变电子束的入射角度和入射电子数量。本发明可产生具有直流偏置电压且脉宽较窄的快速脉冲信号,使电子束在直流偏置电压的作用下发生偏转,而不辐照在样品上;当快速脉冲到来时,电子束在脉冲发生时的极短时间内辐照在样品上,能够对样品进行保护、延长样品的使用寿命。
公开/授权文献:
- CN116053104A 一种用于透射电子显微镜的电子束偏转脉冲发生装置 公开/授权日:2023-05-02
IPC结构图谱:
H | 电学 |
--H01 | 基本电气元件 |
----H01J | 放电管或放电灯 |
------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
--------H01J37/02 | .零部件 |
----------H01J37/04 | ..电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置,如电子光学装置,离子光学装置 |
------------H01J37/147 | ...沿所需路径导引或偏转电子流的装置 |