基本信息:
- 专利标题： 基于声光调制器的过焦扫描显微系统及测量方法
- 申请号：CN202111327686.1 申请日：2021-11-10
- 公开(公告)号：CN116107074B 公开(公告)日：2025-04-25
- 发明人： 霍树春 , 石俊凯 , 陈晓梅 , 李冠楠 , 姜行健 , 高超 , 刘立拓 , 董登峰 , 周维虎
- 申请人： 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人： 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人： 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理人： 樊晓
- 主分类号： G02B21/00
- IPC分类号： G02B21/00
摘要：
本公开提供了一种基于声光调制器的过焦扫描显微系统及测量方法。该扫描显微系统包括：光源模块、分光模块、样品台、采集模块和测量模块。光源模块包括声光调制器，用于产生一系列波长可调的单色准直照明光束；分光模块用于将所述单色准直照明光束分为第一照明光束和第二照明光束；样品台用于固定待测样品并实现待测样品的显微对焦；采集模块用于采集光束从正面和背面照射至所述待测样品后形成的显微图像；测量模块，用于测量所述第一照明光束的波长值，并传送给外部上位机，由外部上位机反馈调控所述光源模块中声光调制器的控制参数，使所述光源模块输出设定波长的单色准直照明光束。
公开/授权文献:
- CN116107074A 基于声光调制器的过焦扫描显微系统及测量方法 公开/授权日：2023-05-12