基本信息:
- 专利标题： 一种提升抗激光损伤能力的熔石英元件表面联合处理方法
- 申请号：CN202310510158.2 申请日：2023-05-08
- 公开(公告)号：CN116462418B 公开(公告)日：2025-05-16
- 发明人： 孙来喜 , 何洪途 , 邹蕊矫 , 刘新祺 , 余家欣 , 郑天然 , 王方 , 李青山
- 申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 西南科技大学
- 申请人地址： 四川省绵阳市科学城绵山路64号
- 专利权人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,西南科技大学
- 当前专利权人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,西南科技大学
- 当前专利权人地址： 四川省绵阳市科学城绵山路64号
- 代理机构： 绵阳远卓弘睿知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 张忠庆
- 主分类号： C03C15/00
- IPC分类号： C03C15/00 ; C03C23/00 ; C03B25/00
摘要：
本发明公开了一种提升抗激光损伤能力的熔石英元件表面联合处理方法，包括：将熔石英元件在乙醇中超声清洗，去除掉表面的灰尘和油渍，然后将熔石英元件置于去离子水中超声清洗；将清洗后的熔石英元件置于平行板放电蚀刻器中进行反应离子刻蚀，刻蚀后采用无机酸对元件表面进行清洗，然后用去离子水清洗并晾干；将清洗好的熔石英元件置于高温退火炉中，进行高温退火处理；将高温退火处理之后的熔石英元件置于H
公开/授权文献:
- CN116462418A 一种提升抗激光损伤能力的熔石英元件表面联合处理方法 公开/授权日：2023-07-21
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C03 | 玻璃；矿棉或渣棉 |
| ----C03C | 玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合 |
| ------C03C15/00 | 纤维和丝之外的蚀刻法玻璃表面处理 |