基本信息:
- 专利标题： 基于多层复杂网络的时空耦合协同分析系统
- 申请号：CN202310877444.2 申请日：2023-07-17
- 公开(公告)号：CN116911587B 公开(公告)日：2025-04-18
- 发明人： 张洁 , 陈达 , 吴立辉
- 申请人： 东华大学
- 申请人地址： 上海市长宁区延安西路1882号
- 专利权人： 东华大学
- 当前专利权人： 东华大学
- 当前专利权人地址： 上海市长宁区延安西路1882号
- 代理机构： 上海申汇专利代理有限公司
- 代理人： 翁若莹; 徐颖
- 主分类号： G06Q10/0633
- IPC分类号： G06Q10/0633 ; G06Q10/101 ; G06Q50/04 ; G06F18/10 ; G06F18/213 ; G06F18/24 ; G06N3/045
摘要：
本发明涉及一种基于多层复杂网络的时空耦合协同分析系统，包括信息预处理模块、多层复杂网络建模模块和加工区与设备的时空耦合协同分析模块，所述信息预处理模块：用于对物料状态信息、设备状态信息和工艺状态信息的收集和对收集信息进行统一状态信息编码；所述多层复杂网络建模模块：通过分类编码信息抽取节点和关系模型构建半导体制造系统的数据模型；所述加工区与设备的时空耦合协同分析模块：从构建的半导体制造系统数据模型中抽取抽取节点与之相关的关系模型的空间网络特征和时间网络特征并进行协同分析，获得系统各个时期的耦合协同度。考虑了晶圆制造车间分区域加工的特点，为半导体制造系统优化控制的决策提供了协同性的动态参考指标。
公开/授权文献:
- CN116911587A 基于多层复杂网络的时空耦合协同分析系统 公开/授权日：2023-10-20
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G06 | 计算；推算；计数 |
| ----G06Q | 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法 |
| ------G06Q10/00 | 行政，例如办公自动化或预定；管理，例如资源或项目管理 |
| --------G06Q10/04 | .预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题” |
| ----------G06Q10/063 | ..运筹学、分析或管理 |
| ------------G06Q10/0633 | ...工作流分析 |