基本信息:
- 专利标题： 一种半导体设备的移动控制方法及装置
- 申请号：CN202410392208.6 申请日：2024-04-02
- 公开(公告)号：CN118295322A 公开(公告)日：2024-07-05
- 发明人： 刘肖男 , 步石 , 陈国兴
- 申请人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 申请人地址： 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号
- 专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 当前专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 当前专利权人地址： 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号
- 代理机构： 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司
- 代理人： 邓超
- 主分类号： G05B19/19
- IPC分类号： G05B19/19
摘要：
本申请提供了一种半导体设备的移动控制方法及装置，该方法包括：获取多项式参数及运动学约束参数，根据多项式参数确定多项式曲线的初始参数及终止参数；根据初始参数及运动学约束参数，对多项式曲线前的步进加速段、位置步进段进行轨迹规划，获得步进加速曲线及位置步进曲线；根据终止参数及运动学约束参数，对多项式曲线后的步进减速段进行规划获得步进减速曲线；将多项式曲线、步进加速曲线、位置步进曲线、步进减速曲线拼接在一起得到移动控制曲线，以利用移动控制曲线对半导体设备进行控制。通过采用上述半导体设备的移动控制方法及装置，解决了采用点对点的线性移动方法来满足非线性运动需求时，导致控制过程复杂度高及控制耗时长的问题。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G05 | 控制；调节 |
| ----G05B | 一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置 |
| ------G05B19/00 | 程序控制系统 |
| --------G05B19/02 | .电的 |
| ----------G05B19/04 | ..除数字控制外的程序控制，即顺序控制器或逻辑控制器 |
| ------------G05B19/19 | ...以定位或轮廓控制系统为特征的，例如控制从1个程序点到另1个的位置或控制沿1个程序的连续路径的移动 |