基本信息:
- 专利标题： 包壳管涂覆设备
- 申请号：CN202410134607.2 申请日：2024-01-30
- 公开(公告)号：CN118422132A 公开(公告)日：2024-08-02
- 发明人： 金铉佶 , 金成恩 , 洪钟大 , 吴洪烈
- 申请人： 韩国原子力研究院
- 申请人地址： 韩国
- 专利权人： 韩国原子力研究院
- 当前专利权人： 韩国原子力研究院
- 当前专利权人地址： 韩国
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理人： 曾贤伟
- 优先权： 10-2023-0013236 2023.01.31 KR
- 主分类号： C23C14/32
- IPC分类号： C23C14/32
摘要：
一种包壳管涂覆设备包括被配置为使用电弧离子镀形成锆合金涂覆环境的腔室单元、设置在腔室单元中的用于容纳作为涂覆对象的多个包壳管的旋转支撑部以及在腔室单元中被设置为朝向被容纳在旋转支撑部中的多个包壳管并且随着抗氧化材料由于电弧现象被熔化和蒸发而被电离的目标部，其中旋转支撑部包括将多个包壳管旋转地支撑在其上的多个转盘，对转盘进行支撑以使多个包壳管的转速恒定处于预设速度，并且对转盘进行支撑以保持纵向方向和圆周方向上的涂覆厚度均匀。