基本信息:
- 专利标题： 天线模块和其制造方法
- 申请号：CN202280083505.1 申请日：2022-10-21
- 公开(公告)号：CN118541876A 公开(公告)日：2024-08-23
- 发明人： 吹留博一 , 末光哲也 , 渡边一世 , 川原实 , 秋山昌次 , 飞坂优二 , 川合信
- 申请人： 国立大学法人东北大学 , 国立研究开发法人情报通信研究机构 , 信越化学工业株式会社
- 申请人地址： 日本
- 专利权人： 国立大学法人东北大学,国立研究开发法人情报通信研究机构,信越化学工业株式会社
- 当前专利权人： 国立大学法人东北大学,国立研究开发法人情报通信研究机构,信越化学工业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本
- 代理机构： 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 刘新宇; 李茂家
- 优先权： 2021-207486 2021.12.21 JP
- 国际申请： PCT/JP2022/039252 2022.10.21
- 国际公布： WO2023/119833 JP 2023.06.29
- 进入国家日期： 2024-06-17
- 主分类号： H01Q23/00
- IPC分类号： H01Q23/00 ; C01B32/184 ; H01L21/338 ; H01L29/778 ; H01L29/812 ; H01P11/00 ; H01Q1/38
摘要：
提供一种适合用于从数10GHz至100GHz以上的信号频带的天线模块。所述天线模块包括：其中至少最上表面为碳化硅的单晶的基板；设置为与基板的最上面接触的单晶石墨烯层；和设置在基板上的氮化镓层。该天线模块的特征在于，通过将石墨烯层中未被氮化镓层覆盖的区域图案化而形成的天线元件部、在氮化镓层上形成的有源元件部、和连接天线元件部和有源元件部的连接部一体地形成。