基本信息:
- 专利标题： 粒子加速器用的真空管批量镀膜装置及其使用方法
- 申请号：CN202410735823.2 申请日：2024-06-07
- 公开(公告)号：CN118854237B 公开(公告)日：2025-04-01
- 发明人： 黄涛 , 马永胜 , 王鹏程 , 孙飞 , 刘佳明 , 王思慧 , 葛晓琴 , 范乐 , 洪远志 , 徐晓鹏
- 申请人： 中国科学技术大学
- 申请人地址： 安徽省合肥市金寨路96号
- 专利权人： 中国科学技术大学
- 当前专利权人： 中国科学技术大学
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市金寨路96号
- 代理机构： 广州蓝晟专利代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 谢静娜
- 主分类号： C23C14/35
- IPC分类号： C23C14/35 ; C23C14/04 ; C23C14/50 ; C23C14/16
摘要：
本发明公开一种粒子加速器用的真空管批量镀膜装置及其使用方法，镀膜装置包括上腔体、下腔体、待镀膜真空管、上连接机构、重锤机构、螺线管电磁铁和磁铁安装底座，上腔体与下腔体之间设有多根待镀膜真空管，各待镀膜真空管的上、下端分别通过上连接机构、重锤机构与上、下腔体连接，多根待镀膜真空管的外周设有螺线管电磁铁，螺线管电磁铁的底部设于磁铁安装底座中；其使用方法是先将各待镀膜真空管逐一安装，并进行检漏和抽真空，形成一体式的多镀膜通道机构，然后通过行车吊装于螺线管电磁铁中，形成整体式的真空管批量镀膜装置，再整体进行检漏和抽真空处理。本发明可实现对多根真空管进行批量镀膜，实现高效、稳定的真空管NEG镀膜处理。
公开/授权文献:
- CN118854237A 粒子加速器用的真空管批量镀膜装置及其使用方法 公开/授权日：2024-10-29