基本信息:
- 专利标题： 基准装置
- 申请号：CN202411333186.2 申请日：2024-09-24
- 公开(公告)号：CN118981082A 公开(公告)日：2024-11-19
- 发明人： 郑艳芳 , 李海彬 , 赵宏宇
- 申请人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 申请人地址： 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号
- 专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 当前专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 当前专利权人地址： 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号
- 代理机构： 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司
- 代理人： 吴玲
- 主分类号： G02B7/00
- IPC分类号： G02B7/00 ; G03F7/20
摘要：
本发明提供一种基准装置，涉及半导体技术领域。基准组件包括底托和基准方镜，基准方镜固定在底托上，底托与基座连接；第一弹簧柱塞和第一调整件均与基座连接，第一弹簧柱塞和第一调整件分别与底托在X轴方向上的两侧抵接，第一调整件能够沿X轴方向移动；第二弹簧柱塞和第二调整件均与基座连接，第二弹簧柱塞和第二调整件分别与底托在Y轴方向上的两侧抵接，第二调整件能够沿Y轴方向移动，压紧组件沿Z轴方向延伸，压紧组件穿过基座并与底托螺纹连接。本发明的基准装置中能够解决调整组件对基准方镜施力可能会导致基准方镜的侧面损坏，以及两个调整组件仅能实现对基准方镜在两个方向上的锁定，基准装置对基准方镜的固定的稳定性较差的问题。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G02 | 光学 |
| ----G02B | 光学元件、系统或仪器 |
| ------G02B7/00 | 光学元件的安装、调整装置或不漏光连接 |