基本信息:
- 专利标题： 一种MEMS角速度传感器
- 申请号：CN202411658875.0 申请日：2024-11-19
- 公开(公告)号：CN119146942A 公开(公告)日：2024-12-17
- 发明人： 王广猛 , 王敏昌 , 汪建平 , 薛胜方 , 胡铁刚
- 申请人： 杭州士兰微电子股份有限公司
- 申请人地址： 浙江省杭州市西湖区黄姑山路4号
- 专利权人： 杭州士兰微电子股份有限公司
- 当前专利权人： 杭州士兰微电子股份有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省杭州市西湖区黄姑山路4号
- 代理机构： 北京成创同维知识产权代理有限公司
- 代理人： 蔡纯
- 主分类号： G01C19/5684
- IPC分类号： G01C19/5684 ; G01C19/5726
摘要：
本申请公开了一种MEMS角速度传感器，包括第一检测结构，检测第一轴线方向的角速度；第二检测结构，检测第二轴线方向的角速度，第二检测结构位于第一检测结构的两侧，第二检测结构和第一检测结构组成的整体结构的投影为十字结构，并形成十字结构的四个独立的边角区域；结构相同的第一驱动质量块、第二驱动质量块、第三驱动质量块和第四驱动质量块，第一驱动质量块、第二驱动质量块、第三驱动质量块和第四驱动质量块中的每个驱动质量块位于一个边角区域中。本申请的MEMS角速度传感器中四个驱动质量块位于第一检测结构和第二检测结构整体形成的四个边角区域，避免了轴间干扰对传感器精度的影响。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01C | 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学 |
| ------G01C19/00 | 陀螺仪；带有振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置 |
| --------G01C19/02 | .旋转式陀螺仪 |
| ----------G01C19/5642 | ..使用振动条或振动梁 |
| ------------G01C19/5677 | ...本质上的二维振动器，如环形振动器 |
| --------------G01C19/5684 | ....包含微机械结构的设备 |