基本信息:
- 专利标题： 一种用于电子束检测设备的可调光阑装置
- 申请号：CN202411264794.2 申请日：2024-09-10
- 公开(公告)号：CN119170468A 公开(公告)日：2024-12-20
- 发明人： 叶文龙 , 肖晓雨 , 刘庆浩 , 龙会跃 , 谢辉 , 黄瑾
- 申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 申请人地址： 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 专利权人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人地址： 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 代理机构： 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
- 代理人： 覃族
- 主分类号： H01J37/15
- IPC分类号： H01J37/15 ; G01T1/29
摘要：
本发明公开了一种用于电子束检测设备的可调光阑装置，包括：光阑基座组件、X轴驱动组件和Y轴驱动组件；光阑基座组件包括底座、连接座、光阑杆和馈电加热组件；Y轴驱动组件用于驱动光阑杆沿Y轴方向自主移动，X轴驱动组件用于驱动光阑杆沿X轴方向自主移动，X轴驱动组件通过Y轴运动座连接在Y轴驱动组件上，与Y轴驱动组件一起运动。连接座设置在底座上，底座与X轴驱动组件连接，馈电加热组件贯穿设置连接座中，馈电加热组件分别与电源和光阑杆连接，馈电加热组件用于对光阑杆进行电加热，以实现光阑杆上的光阑孔自清洁。本发明具有结构紧凑、操作简单、定位精度高、运行稳定且自动化程度高等特点，显著提高了光阑调整及光阑转换的效率。