基本信息:
- 专利标题： 一种低杂波高Q值的薄膜体声波谐振器
- 申请号：CN202411299228.5 申请日：2024-09-18
- 公开(公告)号：CN119182376A 公开(公告)日：2024-12-24
- 发明人： 赵昕子 , 蒋平英 , 肖泽艳 , 李世国 , 吴坤 , 张必壮 , 吴高米 , 唐小龙 , 张建清
- 申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
- 申请人地址： 重庆市南岸区南坪花园路14号
- 专利权人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
- 当前专利权人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
- 当前专利权人地址： 重庆市南岸区南坪花园路14号
- 代理机构： 重庆博凯知识产权代理有限公司
- 代理人： 项晓丹
- 主分类号： H03H9/17
- IPC分类号： H03H9/17 ; H03H9/02
摘要：
本发明公开了一种低杂波高Q值的薄膜体声波谐振器，包括衬底、支撑层、下电极、压电层、上电极和调频层，还包括空气桥结构，所述空气桥结构位于所述上电极的下边界内侧，且所述空气桥结构轴向方向一侧的边界与所述上电极上的凸起位置相适应，另一侧的边界延伸到所述下电极的边界以外。本发明空气桥结构延伸到下电极的边界以外，可以减小谐振器的非有效区域的面积，从而减小寄生电容，提高谐振器的Q值，此处的Q值特指薄膜体声波谐振器在并联谐振点f