基本信息:
- 专利标题： 校准数模转换器以控制带电粒子束系统中的偏转器
- 申请号：CN202380050315.4 申请日：2023-06-20
- 公开(公告)号：CN119586010A 公开(公告)日：2025-03-07
- 发明人： 简国晋 , 马杰
- 申请人： ASML荷兰有限公司
- 申请人地址： 荷兰维德霍温
- 专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰维德霍温
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理人： 姚宗妮
- 优先权： 63/356,757 2022.06.29 US
- 国际申请： PCT/EP2023/066712 2023.06.20
- 国际公布： WO2024/002798 EP 2024.01.04
- 进入国家日期： 2024-12-27
- 主分类号： H03M1/10
- IPC分类号： H03M1/10 ; H01J37/317 ; H03M1/66
摘要：
公开了一种用于控制带电粒子检查系统的偏转器的方法。该方法包括针对带电粒子检查系统中包括的多个数模转换器(DAC)中的每个DAC建立映射关系，该映射关系表征DAC中每一者的非线性行为，确定用于操纵带电粒子检查系统的偏转器的目标控制信号，基于目标控制信号之中的对应目标控制信号和对应映射关系针对多个DAC中的每个DAC确定误差校正数字输入，并将对应的误差校正数字输入输入到DAC中每一者，以使得DAC中每一者能够生成对应的误差补偿输出。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H03 | 基本电子电路 |
| ----H03M | 一般编码、译码或代码转换 |
| ------H03M1/00 | 模/数转换；数/模转换 |
| --------H03M1/10 | .校正或测试 |