基本信息:
- 专利标题： 一种低真空范围内水蒸气制备装置以及压力测量方法
- 申请号：CN202411651698.3 申请日：2024-11-18
- 公开(公告)号：CN119588021A 公开(公告)日：2025-03-11
- 发明人： 李得天 , 宋云见 , 张虎忠 , 习振华 , 李刚 , 李博文 , 王绥辉 , 康伟东
- 申请人： 兰州空间技术物理研究所
- 申请人地址： 甘肃省兰州市城关区高新飞雁街100号
- 专利权人： 兰州空间技术物理研究所
- 当前专利权人： 兰州空间技术物理研究所
- 当前专利权人地址： 甘肃省兰州市城关区高新飞雁街100号
- 代理机构： 北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 饶小平
- 主分类号： B01D7/00
- IPC分类号： B01D7/00 ; G01L21/00
摘要：
本申请涉及真空压力测量技术领域，具体而言，涉及一种低真空范围内水蒸气制备装置以及压力测量方法，所述装置包括水蒸气样品室、金属容器、测量腔、第一电容薄膜规、第二电容薄膜规以及真空泵组，其中：水蒸气样品室通过第一高真空角阀与测量腔连接；金属容器设置在水蒸气样品室内部；第一电容薄膜规为低压电容薄膜规，通过第二高真空角阀与测量腔连接；第二电容薄膜规为高压电容薄膜规，通过第三高真空角阀与测量腔连接；真空泵组通过第四高真空角阀与测量腔连接。本申请采用低温冷冻去离子水升华汽化的方式获得高纯度的水蒸气，能够有效抽除放置金属容器过程中引入的杂质气体，降低由温度和压力波动所引起的水蒸气相变概率。