基本信息:
- 专利标题： 一种SiO2/MoS2化学气相沉积制备方法
- 申请号：CN202411828606.4 申请日：2024-12-12
- 公开(公告)号：CN119640230A 公开(公告)日：2025-03-18
- 发明人： 石新颖 , 邵大伟 , 许福朋 , 于子翔
- 申请人： 江苏师范大学
- 申请人地址： 江苏省徐州市铜山新区上海路101号
- 专利权人： 江苏师范大学
- 当前专利权人： 江苏师范大学
- 当前专利权人地址： 江苏省徐州市铜山新区上海路101号
- 代理机构： 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 李妮
- 主分类号： C23C16/40
- IPC分类号： C23C16/40 ; C23C16/30 ; C23C16/02
摘要：
本发明公开了一种SiO