基本信息:
- 专利标题： 一种电容薄膜真空计调测装置
- 申请号：CN202411641067.3 申请日：2024-11-18
- 公开(公告)号：CN119688159A 公开(公告)日：2025-03-25
- 发明人： 成永军 , 吴成耀 , 孙雯君 , 裴晓强 , 徐小冬 , 董猛 , 戎振华
- 申请人： 兰州空间技术物理研究所
- 申请人地址： 甘肃省兰州市城关区高新飞雁街100号
- 专利权人： 兰州空间技术物理研究所
- 当前专利权人： 兰州空间技术物理研究所
- 当前专利权人地址： 甘肃省兰州市城关区高新飞雁街100号
- 代理机构： 北京理工大学专利中心
- 代理人： 温子云
- 主分类号： G01L21/00
- IPC分类号： G01L21/00
摘要：
本发明公开了一种电容薄膜真空计调测装置，可以在真空计完成封装前完成批量化的调试工作，调试效率高，成本可控。该装置中，主真空室抽气组件通过第一抽气连接管路连接主真空室，用于将主真空室压力维持在本底状态；测试室抽气组件通过第二抽气连接管路连接各测试室，用于将测试室压力维持在本底状态；配气组件通过供气管路连接各测试室，用于向测试室供气；测试室根据被测真空计的量程分为不同组，连接对应量程的压力传感器；每个测试室提供1个以上的真空计连接端；每个被测真空计的参考腔通过第一连接件连接波纹管，所有被测真空计对应的波纹管均接入所述主真空室；被测真空计的测量腔通过第二连接件连接对应量程的测试室。