基本信息:
- 专利标题： 用于样本方案生成与优化的方法
- 申请号：CN202411796789.6 申请日：2019-12-12
- 公开(公告)号：CN119739008A 公开(公告)日：2025-04-01
- 发明人： P·弗里斯克
- 申请人： ASML荷兰有限公司
- 申请人地址： 荷兰维德霍温
- 专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰维德霍温
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理人： 赵林琳; 潘树志
- 优先权： 18214088.9 2018.12.19 EP 19151797.8 2019.01.15 EP 19215179.3 2019.12.11 EP
- 分案原申请号： CN201980084631.7 2019.12.12
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G06F30/398 ; G06F119/18
摘要：
一种用于样本方案(624)生成的方法，具有以下步骤：获取(606)与位置的集合相关联的测量数据(608)；分析(610)测量数据以确定位置的统计上不同的组；以及基于统计上不同的组来配置(614)样本方案生成算法(622)。一种方法，包括：获取与跨一个或多个基底的样本方案相关联的约束(618)和/或多个关键性能指标(620)；以及在包括多目标遗传算法(622)的样本方案生成算法中使用约束(618)和/或多个关键性能指标(620)。位置可定义跨越跨一个或多个基底的多个场的一个或多个区域，并且分析(610)测量数据的步骤可以包括使用不同的相应子采样来跨所跨越的多个场进行堆叠。