基本信息:
- 专利标题： 一种适用于激光干涉仪光束准直的工装及激光干涉仪光束准直方法
- 申请号：CN202411741857.9 申请日：2024-11-29
- 公开(公告)号：CN119756160A 公开(公告)日：2025-04-04
- 发明人： 徐洪威 , 张超 , 陈李松 , 刘千伍 , 刘建华
- 申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 申请人地址： 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 专利权人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人地址： 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 代理机构： 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
- 代理人： 覃族
- 主分类号： G01B9/02
- IPC分类号： G01B9/02
摘要：
本发明公开了一种适用于激光干涉仪光束准直的工装及激光干涉仪光束准直方法，包括：工作台、工件台、真空腔体、激光干涉测量装置和调试装置；所述真空腔体设置在工作台上，所述工件台设置在真空腔体内，所述激光干涉测量装置固定设置在工作台上，以用于对真空腔体内的工件台进行高精度的位移测量；所述调试装置可移动设置在工作台上，以用于光路准直。本发明利用通用的装调工装完成了所有光路的准直，大大压缩了成本，提高了准直方法的通用性和可操作性，易于推广。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B9/00 | 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器 |
| --------G01B9/02 | .干涉仪 |