基本信息:
- 专利标题： 芯片键合平台及方法
- 申请号：CN202411726745.6 申请日：2024-11-28
- 公开(公告)号：CN119793554A 公开(公告)日：2025-04-11
- 发明人： 毛红菊 , 李泽宁 , 周麟 , 赵建龙
- 申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址： 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址： 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构： 上海智信专利代理有限公司
- 代理人： 邓琪; 熊俊杰
- 主分类号： B01L3/00
- IPC分类号： B01L3/00
摘要：
本发明涉及一种芯片键合平台及方法，包括基座、滑台、显微镜、光源、透明板和至少三个支撑柱，所述滑台设于所述基座上，用于支撑待键合的第一芯片并使所述第一芯片沿X、Y、Z向移动和绕Z向转动，各支撑柱围绕所述滑台设置并分别与所述透明板可拆卸连接，以支撑所述透明板；所述透明板位于所述滑台的上方，并用于固定待键合的第二芯片；所述显微镜设于所述基座上，用于观察所述第一芯片和所述第二芯片，所述光源设于所述显微镜上，用于使视场明亮。本发明的芯片键合平台及方法，可方便地实现各芯片的微流道之间的精确对准，提高多层芯片制备的成品率和良品率。
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B01 | 一般的物理或化学的方法或装置 |
| ----B01L | 通用化学或物理实验室设备 |
| ------B01L3/00 | 实验室用的容器或器皿，如实验室玻璃仪器（瓶子入B65D；酶或微生物学用的设备入C12M1/00）；点滴器 |