基本信息:
- 专利标题： TiCN复合涂层及其制备方法
- 申请号：CN202411957658.1 申请日：2024-12-30
- 公开(公告)号：CN119800281A 公开(公告)日：2025-04-11
- 发明人： 郝俊英 , 鲁晓龙 , 牟存礼 , 刘维民 , 鲁艳 , 剡珍 , 张晓
- 申请人： 中国科学院兰州化学物理研究所
- 申请人地址： 甘肃省兰州市城关区天水中路18号
- 专利权人： 中国科学院兰州化学物理研究所
- 当前专利权人： 中国科学院兰州化学物理研究所
- 当前专利权人地址： 甘肃省兰州市城关区天水中路18号
- 代理机构： 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 万小侠
- 主分类号： C23C14/06
- IPC分类号： C23C14/06 ; C23C14/02 ; C23C14/16 ; C23C14/35
摘要：
本发明提供TiCN复合涂层及其制备方法，涉及涂层润滑技术领域，该TiCN复合涂层包括三层，底层为Ti涂层，中间层为TiN涂层，表层为TiCN涂层，其中各元素及其原子百分比为N 20～30at.％，Ti 15～30at.％以及C 40～65at.％，厚度为710～1030nm，采用高功率脉冲磁控溅射技术，在基体表面依次沉积Ti过渡层，TiN涂层和TiCN涂层。本发明具有改善TiCN涂层摩擦系数，提高涂层硬度以及与基体的结合强度，降低切削刀具的摩擦磨损，提高工作稳定性与使用寿命。