基本信息:
- 专利标题： 敏感层及其制备方法、MEMS气体传感器及其制备方法和空调
- 申请号：CN202410484039.9 申请日：2024-04-19
- 公开(公告)号：CN119846899A 公开(公告)日：2025-04-18
- 发明人： 胡玉林 , 贺晓旭 , 刘国宁 , 皮文博 , 梁汉英
- 申请人： 广东比亚迪节能科技有限公司
- 申请人地址： 广东省惠州市大亚湾西区龙山七路(比亚迪有限公司综合楼)
- 专利权人： 广东比亚迪节能科技有限公司
- 当前专利权人： 广东比亚迪节能科技有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省惠州市大亚湾西区龙山七路(比亚迪有限公司综合楼)
- 代理机构： 北京景闻知识产权代理有限公司
- 代理人： 张强
- 主分类号： G03F7/00
- IPC分类号： G03F7/00 ; G03F7/004 ; F24F11/89 ; G01N27/12 ; B81B7/02 ; B81C1/00 ; F24F110/72 ; F24F110/65
摘要：
本发明公开了一种敏感层及其制备方法、MEMS气体传感器及其制备方法和空调，所述敏感层的制备方法，包括以下步骤：将敏感材料分散在光刻胶中获得敏感材料浆料；将所述敏感材料浆料涂布在基片上形成浆料涂层，采用光刻工艺实现浆料涂层的图形化，再经热处理，即获得敏感层。根据本发明的敏感层的制备方法，可以提高光刻工艺在本发明的制备方法中的兼容性，减少了工艺流程，提高了产品的一致性，降低了生产成本。